Diamantový drátový řezací stroj na karbid křemíku, zpracování ingotů SiC 4/6/8/12 palců

Řezačka diamantovým drátem z karbidu křemíku, zpracování ingotů SiC 4/6/8/12 palců. Obrázek

Stručný popis:

Řezačka diamantovým drátem z karbidu křemíku je vysoce přesné obráběcí zařízení určené pro řezání ingotů z karbidu křemíku (SiC). Využívá technologii diamantové drátové pily a provádí vysokorychlostní diamantový drát (průměr drátu 0,1~0,3 mm) až po vícedrátové řezání ingotů z karbidu křemíku, čímž dosahuje vysoce přesné přípravy destiček s nízkým poškozením. Toto zařízení se široce používá při zpracování substrátů výkonových polovodičů SiC (MOSFET/SBD), radiofrekvenčních zařízení (GaN-on-SiC) a optoelektronických zařízení a je klíčovým zařízením v průmyslovém řetězci SiC.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Princip fungování:

1. Upevnění ingotu: Ingot SiC (4H/6H-SiC) je upevněn na řezací plošině pomocí upínacího přípravku, aby byla zajištěna přesnost polohy (±0,02 mm).

2. Pohyb diamantové frézy: diamantová fréza (s galvanicky pokovenými diamantovými částicemi na povrchu) je poháněna systémem vodicích kol pro vysokorychlostní cirkulaci (rychlost frézy 10~30 m/s).

3. Řezání: ingot je podáván v nastaveném směru a diamantová linie je řezána současně s několika rovnoběžnými liniemi (100~500 linií) za vzniku více destiček.

4. Chlazení a odvod třísek: Nastříkejte chladicí kapalinu (deionizovaná voda + přísady) do oblasti řezu, abyste snížili tepelné poškození a odstranili třísky.

Klíčové parametry:

1. Řezná rychlost: 0,2~1,0 mm/min (v závislosti na směru krystalu a tloušťce SiC).

2. Napětí struny: 20~50N (příliš vysoké napětí snadno přetrhne strunu, příliš nízké ovlivní přesnost řezání).

3. Tloušťka destičky: standardní 350~500μm, destička může dosáhnout 100μm.

Hlavní vlastnosti:

(1) Přesnost řezu
Tolerance tloušťky: ±5 μm (@350 μm destička), lepší než u konvenčního řezání maltou (±20 μm).

Drsnost povrchu: Ra < 0,5 μm (není nutné žádné další broušení, aby se snížilo množství následného zpracování).

Deformace: <10μm (snižuje obtížnost následného leštění).

(2) Účinnost zpracování
Víceřádkové řezání: řezání 100~500 kusů najednou, což zvyšuje výrobní kapacitu 3~5krát (oproti řezání jednou linkou).

Životnost linky: Diamantová linka dokáže nařezat 100~300 km SiC (v závislosti na tvrdosti ingotu a optimalizaci procesu).

(3) Zpracování s nízkým poškozením
Zlomení hrany: <15μm (tradiční řezání >50μm), zlepšuje výtěžnost destičky.

Podpovrchová vrstva poškození: <5 μm (snížení úběru leštěním).

(4) Ochrana životního prostředí a ekonomika
Žádná kontaminace malty: Snížené náklady na likvidaci odpadní kapaliny ve srovnání s řezáním malty.

Využití materiálu: Úbytek materiálu při řezání <100 μm/fréza, úspora surovin SiC.

Řezný účinek:

1. Kvalita destičky: žádné makroskopické trhliny na povrchu, málo mikroskopických vad (kontrolovatelné prodloužení dislokací). Možnost přímého vstupu do hrubého lešticího článku, zkrácení procesního toku.

2. Konzistence: odchylka tloušťky destičky v dávce je <±3 %, vhodné pro automatizovanou výrobu.

3.Použitelnost: Podpora řezání ingotů 4H/6H-SiC, kompatibilní s vodivým/poloizolovaným typem.

Technická specifikace：

Specifikace	Podrobnosti
Rozměry (D × Š × V)	2500x2300x2500 nebo přizpůsobit
Rozsah velikostí zpracovatelského materiálu	4, 6, 8, 10, 12 palců karbidu křemíku
Drsnost povrchu	Ra≤0,3u
Průměrná řezná rychlost	0,3 mm/min
Hmotnost	5,5 tuny
Kroky nastavení procesu řezání	≤30 kroků
Hluk zařízení	≤80 dB
Napětí ocelového drátu	0~110N (napětí drátu 0,25 je 45N)
Rychlost ocelového drátu	0~30 m/s
Celkový výkon	50 kW
Průměr diamantového lana	≥0,18 mm
Koncová rovinnost	≤0,05 mm
Rychlost řezání a lámání	≤1 % (s výjimkou lidských důvodů, silikonového materiálu, vedení, údržby a dalších důvodů)

Služby XKH:

Společnost XKH poskytuje kompletní procesní servis diamantového drátového řezacího stroje z karbidu křemíku, včetně výběru zařízení (přizpůsobení průměru drátu/rychlosti drátu), vývoje procesu (optimalizace parametrů řezání), dodávek spotřebního materiálu (diamantový drát, vodicí kolo) a poprodejní podpory (údržba zařízení, analýza kvality řezání), aby pomohla zákazníkům dosáhnout vysokého výtěžku (> 95 %), nízkonákladové hromadné výroby SiC destiček. Nabízí také zakázková vylepšení (jako je ultratenké řezání, automatizované vkládání a vykládání) s dodací lhůtou 4–8 týdnů.