Safírové trubicové safírové tyče speciálního tvaru pro vysoký tlak KY a EFG
Popis
Safírové tyčinky se používají v široké škále aplikací. Safírová tyčinka může být vyrobena s leštěnými všemi povrchy pro optické a otěrové aplikace, nebo s jemně broušenými (neleštěnými) všemi povrchy, které slouží jako izolant.
Technologie
Během procesu vytahování safírových trubic z taveniny pomocí semínka se podélný teplotní gradient v zóně mezi ztuhlou frontou a oblastí vytahování, kde se teplota pohybuje mezi 1850 a 1900 °C, udržuje na maximálně 30 °C/cm. Takto vypěstovaná trubice se žíhá při teplotě mezi 1950 a 2000 °C zvyšováním teploty rychlostí 30 až 40 °C/min a udržováním trubice na uvedené teplotě po dobu 3 až 4 hodin. Poté se trubice ochladí na pokojovou teplotu rychlostí 30-40 °C/min.
Aplikace pro zpracování polovodičů:
(HPD CVD, PECVD, suché leptání, mokré leptání)
Plazmová aplikační trubice
Trysky vstřikovače procesního plynu
Detektor koncových bodů
Excimerové koronové trubice
Plazmové zadržovací trubice
Plazmový svářecí stroj na trubice je zařízení používané k zapouzdření elektronických součástek. Jeho princip spočívá ve využití vysoké teploty a vysokého tlaku plazmy k roztavení obalového materiálu a jeho zapouzdření na součástce. Mezi hlavní součásti plazmového svářecího stroje na trubice patří plazmový generátor, komora pro svařování trubic, vakuový systém, řídicí systém atd.
Ochranný plášť termočlánku (teploměrná jímka): Termočlánek je běžně používaný teplotní měřicí prvek v přístrojích pro měření teploty, přímo měří teplotu a převádí teplotní signál na signál termoelektrické elektromotorické síly, který se prostřednictvím elektrického přístroje (sekundárního přístroje) převádí na teplotu měřeného média.
Úprava/čištění vody
Vlastnosti safírové trubice (teoretické)
| Vzorec sloučeniny | Al₂O₃ |
| Molekulová hmotnost | 101,96 |
| Vzhled | Průsvitné trubice |
| Bod tání | 2050 °C (3720 °F) |
| Bod varu | 2 977 °C (5 391 °F) |
| Hustota | 4,0 g/cm3 |
| Morfologie | Trigonální (hex), R3c |
| Rozpustnost v H2O | 98 x 10⁻⁶ g/100 g |
| Index lomu | 1,8 |
| Elektrický odpor | 17 10x Ω-m |
| Poissonův poměr | 0,28 |
| Měrné teplo | 760 J kg-1 K-1 (293 tis.) |
| Pevnost v tahu | 1390 MPa (mezní pevnost) |
| Tepelná vodivost | 30 W/mK |
| Tepelná roztažnost | 5,3 µm/mK |
| Youngův modul | 450 GPa |
| Přesná hmotnost | 101,948 g/mol |
| Monoizotopová hmotnost | 101,94782 Da |
Podrobný diagram
