LT krystal tantalátu lithia (LiTaO3), orientace 2 palce/3 palce/4 palce/6 palců, tloušťka 250-500 µm

LT krystal tantalátu lithia (LiTaO3), rozměry 2 palce/3 palce/4 palce/6 palců, orientace Y - 42°/36°/108°, tloušťka 250-500 μm. Obrázek

Stručný popis:

Destičky LiTaO₃ představují kritický piezoelektrický a feroelektrický materiálový systém, který vykazuje výjimečné piezoelektrické koeficienty, tepelnou stabilitu a optické vlastnosti, což je činí nepostradatelnými pro filtry povrchové akustické vlny (SAW), rezonátory objemové akustické vlny (BAW), optické modulátory a infračervené detektory. Společnost XKH se specializuje na výzkum, vývoj a výrobu vysoce kvalitních destiček LiTaO₃ s využitím pokročilých procesů růstu krystalů Czochralského (CZ) a epitaxe v kapalné fázi (LPE) k zajištění vynikající krystalické homogenity s hustotou defektů <100/cm².

Společnost XKH dodává 3palcové, 4palcové a 6palcové destičky LiTaO₃ s různými krystalografickými orientacemi (X-cut, Y-cut, Z-cut) a umožňuje individuální dopování (Mg, Zn) a pólování pro splnění specifických požadavků aplikace. Dielektrická konstanta materiálu (ε~40-50), piezoelektrický koeficient (d₃₃~8-10 pC/N) a Curieova teplota (~600 °C) dělají z LiTaO₃ preferovaný substrát pro vysokofrekvenční filtry a přesné senzory.

Naše vertikálně integrovaná výroba zahrnuje růst krystalů, výrobu destiček, leštění a depozici tenkých vrstev s měsíční výrobní kapacitou přesahující 3 000 destiček pro 5G komunikaci, spotřební elektroniku, fotoniku a obranný průmysl. Poskytujeme komplexní technické poradenství, charakterizaci vzorků a nízkoobjemové prototypovací služby pro optimalizovaná řešení LiTaO₃.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Technické parametry

Jméno	LiTaO3 optické kvality	Hladina zvukové tabulky LiTaO3
Axiální	Z-řez +/- 0,2 °	36° řez Y / 42° řez Y / řez X(+ / - 0,2 °)
Průměr	76,2 mm + / - 0,3 mm/100±0,2 mm	76,2 mm +/- 0,3 mm100 mm +/- 0,3 mm 0 nebo 150 ± 0,5 mm
Referenční rovina	22 mm +/- 2 mm	22 mm +/- 2 mm32 mm +/- 2 mm
Tloušťka	500 μm +/- 5 mm1000 μm +/- 5 mm	500 μm +/- 20 mm350 μm +/- 20 mm
TTV	≤ 10 μm	≤ 10 μm
Curieova teplota	605 °C +/- 0,7 °C (metoda DTA)	605 °C +/-3 °C (metoda DTA)
Kvalita povrchu	Oboustranné leštění	Oboustranné leštění
Zkosené hrany	zaoblení hran	zaoblení hran

Klíčové charakteristiky

1. Krystalová struktura a elektrické vlastnosti

· Krystalografická stabilita: 100% dominance polytypu 4H-SiC, žádné multikrystalické inkluze (např. 6H/15R), s křivkou kyvné difrakce XRD v plné šířce v polovině maxima (FWHM) ≤32,7 úhlových sekund.
· Vysoká mobilita nosičů náboje: Mobilita elektronů 5 400 cm²/V·s (4H-SiC) a mobilita děr 380 cm²/V·s, což umožňuje návrh vysokofrekvenčních součástek.
·Radiační odolnost: Odolává neutronovému ozáření o energii 1 MeV s prahem poškození posunutím 1×10¹⁵ n/cm², ideální pro letecký a jaderný průmysl.

2. Tepelné a mechanické vlastnosti

· Výjimečná tepelná vodivost: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), trojnásobek oproti křemíku, umožňuje provoz při teplotách nad 200 °C.
· Nízký součinitel tepelné roztažnosti: CTE 4,0×10⁻⁶/K (25–1000 °C), což zajišťuje kompatibilitu s obaly na bázi silikonu a minimalizuje tepelné namáhání.

3. Kontrola vad a přesnost zpracování

· Hustota mikrotrubiček: <0,3 cm⁻² (8palcové destičky), hustota dislokací <1 000 cm⁻² (ověřeno leptáním KOH).
· Kvalita povrchu: Leštěno CMP na Ra <0,2 nm, splňuje požadavky na rovinnost EUV litografie.

Klíčové aplikace

Doména	Aplikační scénáře	Technické výhody
Optická komunikace	100G/400G lasery, hybridní moduly křemíkové fotoniky	InP substráty semen umožňují přímou šířku zakázaného pásma (1,34 eV) a heteroepitaxi na bázi Si, čímž se snižují ztráty optické vazby.
Vozidla na novou energii	Vysokonapěťové střídače 800 V, palubní nabíječky (OBC)	Substráty 4H-SiC odolávají napětí >1 200 V, což snižuje ztráty vedením o 50 % a objem systému o 40 %.
5G komunikace	Milimetrové vlnové RF zařízení (PA/LNA), výkonové zesilovače základnových stanic	Poloizolační substráty SiC (rezistivita >10⁵ Ω·cm) umožňují pasivní integraci ve vysokofrekvenčním pásmu (60 GHz+).
Průmyslové vybavení	Vysokoteplotní senzory, proudové transformátory, monitory jaderných reaktorů	Semenné substráty InSb (pásmová mezera 0,17 eV) poskytují magnetickou citlivost až 300 % při 10 T.

LiTaO₃ destičky – klíčové vlastnosti

1. Vynikající piezoelektrický výkon

· Vysoké piezoelektrické koeficienty (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5 %) umožňují použití vysokofrekvenčních SAW/BAW zařízení se vložným útlumem <1,5 dB pro 5G RF filtry

· Vynikající elektromechanické propojení podporuje širokopásmové (≥5 %) filtry pro aplikace v pásmech pod 6 GHz a mmWave

2. Optické vlastnosti

· Širokopásmová transparentnost (propustnost >70 % od 400 do 5000 nm) pro elektrooptické modulátory dosahující šířky pásma >40 GHz

· Silná nelineární optická susceptibilita (χ⁽²⁾~30 pm/V) usnadňuje efektivní generování druhé harmonické (SHG) v laserových systémech

3. Stabilita prostředí

· Vysoká Curieova teplota (600 °C) udržuje piezoelektrickou odezvu v prostředí automobilové třídy (-40 °C až 150 °C)

· Chemická inertnost vůči kyselinám/zásadám (pH 1–13) zajišťuje spolehlivost v průmyslových senzorických aplikacích

4. Možnosti přizpůsobení

· Orientační inženýrství: X-řez (51°), Y-řez (0°), Z-řez (36°) pro přizpůsobené piezoelektrické odezvy

· Možnosti dopování: dopováno Mg (odolnost proti optickému poškození), dopováno Zn (zvýšená hodnota d₃₃)

· Povrchové úpravy: Epitaxní leštění (Ra < 0,5 nm), metalizace ITO/Au

LiTaO₃ destičky – primární aplikace

1. RF front-endové moduly

· 5G NR SAW filtry (pásmo n77/n79) s teplotním koeficientem frekvence (TCF) <|-15ppm/°C|

· Ultraširokopásmové BAW rezonátory pro WiFi 6E/7 (5,925–7,125 GHz)

2. Integrovaná fotonika

· Vysokorychlostní Mach-Zehnderovy modulátory (>100 Gb/s) pro koherentní optickou komunikaci

· Infračervené detektory QWIP s mezními vlnovými délkami nastavitelnými od 3 do 14 μm

3. Automobilová elektronika

· Ultrazvukové parkovací senzory s provozní frekvencí >200 kHz

· Piezoelektrické snímače TPMS odolávají teplotním cyklům od -40 °C do 125 °C

4. Obranné systémy

· EW přijímací filtry s potlačením mimopásmového signálu >60dB

· Okna IR hledače střely propouštějící MWIR záření v délce 3–5 μm

5. Nově vznikající technologie

· Optomechanické kvantové měniče pro mikrovlnnou na optickou konverzi

· PMUT pole pro lékařské ultrazvukové zobrazování (rozlišení > 20 MHz)

LiTaO₃ destičky - XKH Services

1. Řízení dodavatelského řetězce

· Zpracování od boule po wafer s 4týdenní dodací lhůtou pro standardní specifikace

· Nákladově optimalizovaná výroba s cenovou výhodou 10–15 % oproti konkurenci

2. Řešení na míru

· Orientačně specifické waferování: 36°±0,5° Y-řez pro optimální výkon SAW

· Dopované složení: MgO (5 mol%) dopování pro optické aplikace

Metalizační služby: Tvarování elektrod Cr/Au (100/1000 Å)

3. Technická podpora

· Charakterizace materiálu: XRD křivky kývání (FWHM<0,01°), AFM analýza povrchu

· Simulace zařízení: FEM modelování pro optimalizaci návrhu SAW filtru

Závěr

Destičky LiTaO₃ i nadále umožňují technologický pokrok v oblasti rádiové komunikace, integrované fotoniky a senzorů pro náročné prostředí. Odborné znalosti materiálů, přesnost výroby a podpora aplikačního inženýrství společnosti XKH pomáhají zákazníkům překonávat konstrukční výzvy v elektronických systémech nové generace.