FZ CZ Si wafer skladem 12inch Silicon wafer Prime or Test
Představení krabičky na oplatky
Leštěné oplatky
Silikonové destičky, které jsou speciálně oboustranně leštěné, aby získaly zrcadlový povrch. Vynikající vlastnosti, jako je čistota a plochost, definují nejlepší vlastnosti tohoto waferu.
Nedopované silikonové destičky
Jsou také známé jako vnitřní křemíkové destičky. Tento polovodič je čistou krystalickou formou křemíku bez přítomnosti jakýchkoli příměsí v celém plátku, což z něj činí ideální a dokonalý polovodič.
Dopované silikonové destičky
N-type a P-type jsou dva typy dopovaných křemíkových plátků.
Křemíkové destičky dopované typu N obsahují arsen nebo fosfor. Je široce používán při výrobě pokročilých CMOS zařízení.
Bórem dopované křemíkové destičky typu P. Většinou se používá k výrobě tištěných spojů nebo fotolitografii.
Epitaxní destičky
Epitaxní destičky jsou konvenční destičky používané k získání integrity povrchu. Epitaxní destičky jsou dostupné v tlustých a tenkých destičkách.
Vícevrstvé epitaxní destičky a tlusté epitaxní destičky se také používají k regulaci spotřeby energie a řízení výkonu zařízení.
Tenké epitaxní destičky se běžně používají ve špičkových MOS nástrojích.
SOI oplatky
Tyto pláty se používají k elektrické izolaci jemných vrstev monokrystalického křemíku z celého křemíkového plátku. SOI wafery se běžně používají v křemíkové fotonice a vysoce výkonných RF aplikacích. SOI wafery se také používají ke snížení kapacity parazitních zařízení v mikroelektronických zařízeních, což pomáhá zlepšit výkon.
Proč je výroba plátků obtížná?
12palcové křemíkové destičky je velmi obtížné krájet z hlediska výtěžnosti. Křemík je sice tvrdý, ale také křehký. Vznikají drsné oblasti, protože hrany řezaných plátků mají tendenci se lámat. Diamantové kotouče se používají k vyhlazení okrajů plátků a odstranění jakéhokoli poškození. Po naříznutí se plátky snadno zlomí, protože nyní mají ostré hrany. Okraje plátků jsou navrženy tak, aby se vyloučily křehké ostré hrany a snížila se možnost sklouznutí. V důsledku operace tvarování okraje se upraví průměr plátku, plátek se zakulatí (po nakrájení je odříznutý plátek oválný) a vytvoří se nebo dimenzují zářezy nebo orientované roviny.