8palcová 200mm 4H-N SiC destička vodivá figurína výzkumné třídy
Díky svým jedinečným fyzikálním a elektronickým vlastnostem se 200mm SiC destičky polovodičového materiálu používají k vytváření vysoce výkonných, vysokoteplotních, radiačně odolných a vysokofrekvenčních elektronických součástek. Cena 8palcového SiC substrátu postupně klesá s tím, jak se technologie stává pokročilejší a poptávka roste. Nedávný technologický vývoj vede k výrobě 200mm SiC destiček ve výrobním měřítku. Hlavní výhody polovodičových materiálů SiC destiček ve srovnání s destičkami Si a GaAs: Elektrická síla 4H-SiC během lavinového průrazu je o více než řád vyšší než odpovídající hodnoty pro Si a GaAs. To vede k významnému snížení měrného odporu v zapnutém stavu Ron. Nízký měrný odpor v zapnutém stavu v kombinaci s vysokou proudovou hustotou a tepelnou vodivostí umožňuje použití velmi malých čipů pro výkonová zařízení. Vysoká tepelná vodivost SiC snižuje tepelný odpor čipu. Elektronické vlastnosti součástek založených na SiC destičkách jsou v čase a teplotně velmi stabilní, což zajišťuje vysokou spolehlivost výrobků. Karbid křemíku je extrémně odolný vůči tvrdému záření, které nedegraduje elektronické vlastnosti čipu. Vysoká mezní provozní teplota krystalu (více než 6000 °C) umožňuje vytvářet vysoce spolehlivá zařízení pro náročné provozní podmínky a speciální aplikace. V současné době můžeme stabilně a nepřetržitě dodávat malé série 200mmSiC destiček a máme určité zásoby na skladě.
Specifikace
| Číslo | Položka | Jednotka | Výroba | Výzkum | Figurína |
| 1. Parametry | |||||
| 1.1 | polytyp | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientace povrchu | ° | <11–20> 4±0,5 | <11–20> 4±0,5 | <11–20> 4±0,5 |
| 2. Elektrické parametry | |||||
| 2.1 | příměs | -- | Dusík typu n | Dusík typu n | Dusík typu n |
| 2.2 | měrný odpor | ohm·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3. Mechanické parametry | |||||
| 3.1 | průměr | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | tloušťka | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientace zářezu | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Hloubka zářezu | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | Celková hodnota (LTV) | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Luk | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3,9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Struktura | |||||
| 4.1 | hustota mikrotrubiček | ks/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | obsah kovů | atomů/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ks/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Hraniční porucha osobnosti | ks/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | ks/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Pozitivní kvalita | |||||
| 5.1 | přední | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | povrchová úprava | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | částice | oplatka | ≤100 (velikost ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | poškrábat | oplatka | ≤5, celková délka ≤200 mm | NA | NA |
| 5,5 | Okraj odštěpky/promáčkliny/praskliny/skvrny/znečištění | -- | Žádný | Žádný | NA |
| 5.6 | Polytypní oblasti | -- | Žádný | Plocha ≤10 % | Plocha ≤30 % |
| 5.7 | přední značení | -- | Žádný | Žádný | Žádný |
| 6. Kvalita zadní strany | |||||
| 6.1 | zadní úprava | -- | MP s C-face | MP s C-face | MP s C-face |
| 6.2 | poškrábat | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Okraje zad odštěpky/prohlubně | -- | Žádný | Žádný | NA |
| 6.4 | Drsnost zad | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Zadní značení | -- | Zářez | Zářez | Zářez |
| 7. Hrana | |||||
| 7.1 | okraj | -- | Zkosení | Zkosení | Zkosení |
| 8. Balíček | |||||
| 8.1 | obal | -- | Epi-ready s vakuem obal | Epi-ready s vakuem obal | Epi-ready s vakuem obal |
| 8.2 | obal | -- | Vícenásobná destička balení kazet | Vícenásobná destička balení kazet | Vícenásobná destička balení kazet |
Podrobný diagram
