6palcové 150mm destičky SiC z karbidu křemíku typu 4H-N pro výzkum výroby MOS nebo SBD a fiktivní třídu
Aplikační pole
6palcový monokrystalický substrát z karbidu křemíku hraje klíčovou roli v mnoha průmyslových odvětvích. Za prvé, je široce používán v polovodičovém průmyslu pro výrobu vysoce výkonných elektronických zařízení, jako jsou výkonové tranzistory, integrované obvody a výkonové moduly. Jeho vysoká tepelná vodivost a odolnost proti vysokým teplotám umožňují lepší odvod tepla, což vede ke zvýšení účinnosti a spolehlivosti. Za druhé, destičky z karbidu křemíku jsou nezbytné ve výzkumných oblastech pro vývoj nových materiálů a zařízení. Kromě toho nachází plátek z karbidu křemíku rozsáhlé aplikace v oblasti optoelektroniky, včetně výroby LED a laserových diod.
Specifikace produktu
6palcový monokrystalický substrát karbidu křemíku má průměr 6 palců (přibližně 152,4 mm). Drsnost povrchu je Ra < 0,5 nm a tloušťka je 600 ± 25 μm. Substrát lze přizpůsobit buď vodivostí typu N nebo typu P, na základě požadavků zákazníka. Navíc vykazuje výjimečnou mechanickou stabilitu, schopnou odolávat tlaku a vibracím.
Průměr | 150 ± 2,0 mm (6 palců) | ||||
Tloušťka | 350 μm±25μm | ||||
Orientace | Na ose : <0001>±0,5° | Mimo osu: 4,0° směrem k 1120±0,5° | |||
Polytyp | 4H | ||||
Odpor (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primární orientace bytu | {10-10}±5,0° | ||||
Primární plochá délka (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Okraj | Zkosení | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM přední (Si-face) | Polský Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra < 0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Pomerančová kůra / důlky / praskliny / kontaminace / skvrny / pruhy | Žádný | Žádný | Žádný | ||
odsazení | Žádný | Žádný | Žádný |
6palcový monokrystalický substrát z karbidu křemíku je vysoce výkonný materiál široce používaný v polovodičovém, výzkumném a optoelektronickém průmyslu. Nabízí vynikající tepelnou vodivost, mechanickou stabilitu a odolnost vůči vysokým teplotám, díky čemuž je vhodný pro výrobu vysoce výkonných elektronických zařízení a výzkum nových materiálů. Poskytujeme různé specifikace a možnosti přizpůsobení, abychom splnili různé požadavky zákazníků.Kontaktujte nás pro další podrobnosti o destičkách z karbidu křemíku!