6palcové 150mm destičky z karbidu křemíku SiC typu 4H-N pro výzkum a výrobu MOS nebo SBD tranzistorů a pro testovací účely
Oblasti použití
6palcový substrát z monokrystalu karbidu křemíku hraje klíčovou roli v mnoha průmyslových odvětvích. Zaprvé, je široce používán v polovodičovém průmyslu pro výrobu vysoce výkonných elektronických součástek, jako jsou výkonové tranzistory, integrované obvody a výkonové moduly. Jeho vysoká tepelná vodivost a odolnost vůči vysokým teplotám umožňují lepší odvod tepla, což vede ke zvýšení účinnosti a spolehlivosti. Zadruhé, destičky z karbidu křemíku jsou nezbytné ve výzkumných oblastech pro vývoj nových materiálů a zařízení. Destička z karbidu křemíku navíc nachází rozsáhlé uplatnění v oblasti optoelektroniky, včetně výroby LED a laserových diod.
Specifikace produktu
6palcový substrát z monokrystalu karbidu křemíku má průměr 6 palců (přibližně 152,4 mm). Drsnost povrchu je Ra < 0,5 nm a tloušťka je 600 ± 25 μm. Substrát lze přizpůsobit vodivosti typu N nebo typu P, dle požadavků zákazníka. Navíc vykazuje výjimečnou mechanickou stabilitu, která je schopna odolávat tlaku a vibracím.
| Průměr | 150±2,0 mm (6 palců) | ||||
| Tloušťka | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientace | Na ose: <0001>±0,5° | Mimo osu: 4,0° směrem k 1120±0,5° | |||
| Polytyp | 4H | ||||
| Měrný odpor (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Primární rovinná orientace | {10–10}±5,0° | ||||
| Délka primární plošky (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Okraj | Zkosení | ||||
| TTV/Luc/Osnova (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM přední (Si-face) | Polský Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Celková hodnota (LTV) | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Pomerančová kůra/pecky/praskliny/znečištění/skvrny/pruhy | Žádný | Žádný | Žádný | ||
| odsazení | Žádný | Žádný | Žádný | ||
6palcový substrát z monokrystalu karbidu křemíku je vysoce výkonný materiál široce používaný v polovodičovém, výzkumném a optoelektronickém průmyslu. Nabízí vynikající tepelnou vodivost, mechanickou stabilitu a odolnost vůči vysokým teplotám, díky čemuž je vhodný pro výrobu vysoce výkonných elektronických zařízení a výzkum nových materiálů. Nabízíme různé specifikace a možnosti přizpůsobení, abychom splnili rozmanité požadavky zákazníků.Kontaktujte nás pro více informací o destičkách z karbidu křemíku!
Podrobný diagram
