Ultrapřesný stolek s pneumatickými ložisky SiC

Obrázek ultra přesného stolku s pneumatickými ložisky SiC

Stručný popis:

S neustálým vývojem polovodičového průmyslu vyžadují procesní a kontrolní zařízení stále vyšší výkon. Na základě rozsáhlých zkušeností v oblasti řízení pohybu a polohování na nanometrové úrovni jsme vyvinuli planární dvouosý ultra přesný stolek typu H s pneumatickými ložisky.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Přehled

Stolek, navržený s keramickou strukturou z karbidu křemíku (SiC) optimalizovanou metodou konečných prvků a technologií kompenzovaných vzduchových ložisek, poskytuje vynikající přesnost, tuhost a dynamickou odezvu. Je ideální pro:

Zpracování a kontrola polovodičů
Mikro/nano výroba a metrologie
Nanometrové řezání a leštění za letu
Vysokorychlostní přesné skenování

Klíčové vlastnosti

Vzduchové vedení SiCpro ultra vysokou tuhost a přesnost
Vysoká dynamikarychlost do 1 m/s, zrychlení do 4 g, rychlé usazování
Dvoupohonný portálový portál v ose Yzajišťuje vysokou nosnost a stabilitu
Možnosti kodéruoptická mřížka nebo laserový interferometr
Přesnost polohování±0,15 μm;opakovatelnost±75 nm
Optimalizované vedení kabelůpro čistý design a dlouhodobou spolehlivost
Přizpůsobitelné konfiguracepro specifické potřeby aplikace

Ultrapřesný design a bezkontaktní architektura s přímým pohonem

Keramický rám SiC: ~5× tuhost hliníkové slitiny a ~5× nižší tepelná roztažnost, což zajišťuje vysokorychlostní stabilitu a tepelnou robustnost.
Kompenzované vzduchové ložisko: Patentovaná konstrukce zvyšuje tuhost, nosnost a stabilitu pohybu.
Dynamický výkonPodporuje rychlost 1 m/s a zrychlení 4 g, ideální pro procesy s vysokou propustností.
Bezproblémová integraceKompatibilní se systémy pro izolaci vibrací, rotačními stoly, naklápěcími moduly a platformami pro manipulaci s wafery.
Správa kabelůŘízený poloměr ohybu minimalizuje namáhání a prodlužuje životnost.

Bezjádrový lineární motorPlynulý pohyb s nulovou silou ozubení.
Vícemotorový pohonUmístění motoru v rovině zatížení zlepšuje přímost, rovinnost a úhlovou přesnost.
Tepelná izolaceMotory jsou izolovány od konstrukce jeviště; volitelné vzduchové nebo vodní chlazení pro vysoké zatěžovatelné cykly.

Specifikace

Model	400–400	500–500	600–600
Sekery	X (skenování) / Y (krok)	X (skenování) / Y (krok)	X (skenování) / Y (krok)
Zdvih (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Přesnost (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Opakovatelnost (nm)	±75	±100	±100
Rozlišení (nm)	0,3	0,3	0,3
Maximální rychlost (m/s)	1	1	1
Zrychlení (g)	4	4	4
Přímost (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilita (nm)	±5	±5	±5
Maximální zatížení (kg)	20	20	20
Stoupání/klopení/stáčení (úhlová sekunda)	±1	±1	±1

Zkušební podmínky:

Přívod vzduchu: čistý, suchý; rosný bod ≤ 0 °F; filtrace částic ≤ 0,25 μm; nebo 99,99% dusík.
Přesnost měření: 25 mm nad středem stolku při teplotě 20±1 °C a relativní vlhkosti 40–60 %.

Aplikace

Polovodičová litografie, inspekce a manipulace s destičkami
Mikro/nano výroba a přesná metrologie
Výroba špičkové optiky a interferometrie
Letecký a kosmický a pokročilý vědecký výzkum

Často kladené otázky – Vzduchový stolek z karbidu křemíku

1. Co je to vzduchový stupeň?

Plošina s vzduchovými ložisky využívá tenkou vrstvu stlačeného vzduchu mezi ploškou a vodicí dráhou k zajištěníbeztření, opotřebení a ultra plynulý pohybNa rozdíl od konvenčních mechanických ložisek eliminuje trhavý skluz, poskytuje přesnost na úrovni nanometrů a podporuje dlouhodobou spolehlivost.

2. Proč použít karbid křemíku (SiC) pro konstrukci jeviště?

Vysoká tuhost: ~5× větší než u hliníkové slitiny, minimalizuje deformaci během dynamického pohybu.
Nízká tepelná roztažnost: ~5× nižší než u hliníku, přičemž se zachovává přesnost i při teplotních výkyvech.
LehkáNižší hustota ve srovnání s ocelí, což umožňuje provoz při vysokých rychlostech a vysokém zrychlení.
Vynikající stabilitaVynikající tlumení a tuhost pro ultra přesné polohování.

3. Vyžaduje pódium mazání nebo údržbu?

Není potřeba žádné tradiční mazání, protože existuježádný mechanický kontaktDoporučená údržba zahrnuje:

Dodávkyčistý, suchý stlačený vzduch nebo dusík
Pravidelná kontrola filtrů a sušiček
Monitorovací kabely a chladicí systémy

4. Jaké jsou požadavky na přívod vzduchu?

Rosný bod: ≈ –18 °C (≈ 0 °F)
Filtrace částic: ≤ 0,25 μm
Čistý, suchý vzduch nebo dusík s 99,99% čistotou
Stabilní tlak s minimálním kolísáním

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.