Vidlicové rameno/ruka z karbidu křemíku a SiC keramiky pro kritické manipulační systémy

Vidlicové rameno/ruka z karbidu křemíku SiC Keramika pro kritické manipulační systémy Obrázek

Stručný popis:

Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáje špičková součástka vyvinutá pro pokročilou průmyslovou automatizaci, zpracování polovodičů a ultračistá prostředí. Její výrazná vidlicová architektura a ultraplochý keramický povrch ji činí ideální pro manipulaci s choulostivými substráty, včetně křemíkových destiček, skleněných panelů a optických zařízení. Je precizně navržena a vyrobena z ultračistého karbidu křemíku.Vidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickánabízí bezkonkurenční mechanickou pevnost, tepelnou spolehlivost a kontrolu kontaminace.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Představení keramické vidlice/ruka z karbidu křemíku

Na rozdíl od běžných kovových nebo plastových ramen,Vidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáPoskytuje stabilní výkon v extrémních tepelných, chemických a vakuových podmínkách. Ať už se pracuje v čisté místnosti třídy 1 nebo ve vysokovakuové plazmové komoře, tato součástka zajišťuje bezpečnou, efektivní a bezezbytkovou přepravu cenných dílů.

Díky konstrukci přizpůsobené pro robotická ramena, manipulátory s wafery a automatizované nástroje pro přenos,Vidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáje chytrým vylepšením pro jakýkoli vysoce přesný systém.

Výrobní proces vidlicového ramene/ruka z karbidu křemíku

Vytvoření vysoce výkonnéhoVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickázahrnuje přísně kontrolovaný pracovní postup keramického inženýrství, který zajišťuje opakovatelnost, spolehlivost a ultranízkou míru vad.

1. Materiálové inženýrství

Při výrobě se používá pouze ultračistý karbid křemíkuVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramická, což zajišťuje nízkou iontovou kontaminaci a vysokou objemovou pevnost. Prášky jsou přesně smíchány se slinovacími přísadami a pojivy pro dosažení optimálního zhutnění.

2. Vytvoření základní struktury

Základní geometrierameno/ruka vidlicese vyrábí za studena izostatickým lisováním nebo vstřikováním, což zajišťuje vysokou hustotu v surovém stavu a rovnoměrné rozložení napětí. Konfigurace tvaru U je optimalizována z hlediska poměru tuhosti k hmotnosti a dynamické odezvy.

3. Proces spékání

Zelené těloVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáse slinuje ve vysokoteplotní peci s inertním plynem při teplotě přes 2000 °C. Tento krok zajišťuje téměř teoretickou hustotu, čímž vzniká součást, která odolává praskání, deformaci a rozměrovým odchylkám při reálném tepelném zatížení.

4. Přesné broušení a obrábění

Pro tvarování konečných rozměrů se používá pokročilé CNC diamantové nástrojeVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáPřesné tolerance (±0,01 mm) a zrcadlová povrchová úprava snižují uvolňování částic a mechanické namáhání.

5. Úprava a čištění povrchů

Konečná povrchová úprava zahrnuje chemické leštění a ultrazvukové čištění pro přípravu povrchurameno/ruka vidlicepro přímou integraci do ultračistých systémů. K dispozici jsou také volitelné povlaky (CVD-SiC, antireflexní vrstvy).

Tento pečlivý proces zaručuje, že každýVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickásplňuje nejpřísnější průmyslové normy, včetně požadavků na čisté prostory SEMI a ISO.

Parametry keramické vidlice/ruka z karbidu křemíku

Položka	Zkušební podmínky	Data	Jednotka
Obsah karbidu křemíku	/	>99,5	%
Průměrná velikost zrna	/	4–10	mikron
Hustota	/	>3,14	g/cm3
Zdánlivá pórovitost	/	<0,5	Obj. %
Tvrdost podle Vickerse	HV0,5	2800	kg/mm2
Modul pevnosti v tahu (3 body)	Velikost testovací tyče: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Pevnost v tlaku	20 °C	3900	MPa
Modul pružnosti	20 °C	420	GPA
Lomová houževnatost	/	3,5	MPa/m^1/2
Tepelná vodivost	20 °C	160	W/(mK)
Elektrický odpor	20 °C	10⁶-10⁸	Ωcm
Koeficient tepelné roztažnosti	20 °C–800 °C	4.3	K^-110^-6
Max. teplota aplikace	Oxidová atmosféra	1600	°C
Max. teplota aplikace	Inertní atmosféra	1950	°C

Aplikace keramických vidlicových ramen/rukařících ramen z karbidu křemíku

Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáje navržen pro použití ve vysoce přesných, vysoce rizikových a na kontaminaci citlivých aplikacích. Umožňuje spolehlivou manipulaci, přenos nebo podporu kritických součástí bez kompromisů.

➤ Polovodičový průmysl

Používá se jako robotická vidlice v předních stanicích pro přenos waferů a FOUP.
Integrováno do vakuových komor pro plazmové leptání a PVD/CVD procesy.
Funguje jako nosné rameno v metrologických a nástrojích pro zarovnávání destiček.

Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáEliminuje rizika elektrostatického výboje (ESD), podporuje rozměrovou přesnost a odolává plazmové korozi.

➤ Fotonika a optika

Podporuje citlivé čočky, laserové krystaly a senzory během výroby nebo kontroly.
Jeho vysoká tuhost zabraňuje vibracím, zatímco keramické tělo odolává kontaminaci optických povrchů.

➤ Výroba displejů a panelů

Manipuluje s tenkým sklem, OLED moduly a LCD substráty během přepravy nebo kontroly.
Plochý a chemicky inertníVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáchrání před poškrábáním nebo chemickým leptáním.

➤ Letecký a kosmický průmysl a vědecké přístroje

Používá se při montáži satelitní optiky, vakuové robotice a nastavení synchrotronových paprskových linií.
Funguje bezchybně v čistých prostorách kosmické úrovně a prostředích náchylných k radiaci.

V každém poli,Vidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickázvyšuje efektivitu systému, snižuje poruchovost dílů a minimalizuje prostoje.

Často kladené otázky – Často kladené otázky o rameni/ruke vidlice z karbidu křemíku

Otázka 1: Co dělá keramickou vidlicovou rukojeť/rameno z karbidu křemíku lepší než kovové alternativy?

Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáMá vynikající tvrdost, nižší hustotu, lepší chemickou odolnost a výrazně menší tepelnou roztažnost než kovy. Je také kompatibilní s čistými prostory a nepodléhá korozi ani tvorbě částic.

Q2: Mohu si vyžádat vlastní rozměry pro mou vidlicovou rukojeť z karbidu křemíku a keramiky?

Ano. Nabízíme kompletní úpravy na míru, včetně šířky vidlice, tloušťky, montážních otvorů, výřezů a povrchových úprav. Ať už se jedná o wafery o rozměrech 6", 8" nebo 12", vašerameno/ruka vidlicelze upravit na míru.

Otázka 3: Jak dlouho vydrží rameno/ruka vidlice z karbidu křemíku v plazmatu nebo vakuu?

Díky vysoce hustému materiálu SiC a inertní povaze...rameno/ruka vidliceZůstává funkční i po tisících procesních cyklů. Vykazuje minimální opotřebení při agresivním tepelném zatížení plazmou nebo vakuem.

Q4: Je produkt vhodný pro čisté prostory třídy ISO 1?

Rozhodně. Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáje vyráběn a balen v certifikovaných čistých prostorách s obsahem částic výrazně pod požadavky ISO třídy 1.

Q5: Jaká je maximální provozní teplota pro toto rameno/ruku vidlice?

Ten/Ta/ToVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramickáMůže pracovat nepřetržitě až do 1500 °C, takže je vhodný pro přímé použití ve vysokoteplotních procesních komorách a termických vakuových systémech.

Tyto nejčastější dotazy odrážejí nejčastější technické obavy inženýrů, vedoucích laboratoří a systémových integrátorů používajícíchVidlice/ruka z karbidu křemíku, keramická.

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.