Keramická miska z karbidu křemíku, dodávka keramických trubek z karbidu křemíku, vysokoteplotní spékání, zakázkové zpracování
Hlavní vlastnosti:
1. Keramická miska z karbidu křemíku
- Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení: tvrdost se blíží diamantu a vydrží mechanické opotřebení při zpracování destiček po dlouhou dobu.
- Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti: rychlé odvádění tepla a rozměrová stabilita, zabraňují deformacím způsobeným tepelným namáháním.
- Vysoká rovinnost a povrchová úprava: Rovinnost povrchu dosahuje až mikronové úrovně, což zajišťuje plný kontakt mezi destičkou a diskem a snižuje kontaminaci a poškození.
Chemická stabilita: Silná odolnost proti korozi, vhodné pro mokré čištění a leptání při výrobě polovodičů.
2. Keramická trubice z karbidu křemíku
- Odolnost proti vysokým teplotám: Může dlouhodobě pracovat ve vysokoteplotním prostředí nad 1600 °C, je vhodný pro vysokoteplotní procesy výroby polovodičů.
Vynikající odolnost proti korozi: odolná vůči kyselinám, zásadám a řadě chemických rozpouštědel, vhodná pro náročná procesní prostředí.
- Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení: odolává erozi částic a mechanickému opotřebení, prodlužuje životnost.
- Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti: rychlé vedení tepla a rozměrová stabilita, což snižuje deformace nebo praskání způsobené tepelným namáháním.
Parametr produktu：
Parametr keramického zásobníku z karbidu křemíku:
| (Hmotný majetek) | (Jednotka) | (sic) | |
| (obsah SiC) | (Hm.)% | >99 | |
| (Průměrná velikost zrna) | mikron | 4–10 | |
| (Hustota) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Zdánlivá pórovitost) | Vo1% | <0,5 | |
| (tvrdost dle Vickerse) | VN 0,5 | GPA | 28 |
| *() Pevnost v ohybu* (tři body) | 20 °C | MPa | 450 |
| (Pevnost v tlaku) | 20 °C | MPa | 3900 |
| (Modul pružnosti) | 20 °C | GPA | 420 |
| (Lomová houževnatost) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Tepelná vodivost) | 20 °C | W/(m*K) | 160 |
| (Rezistivita) | 20 °C | Ohm.cm | 106–108 |
(Koeficient tepelné roztažnosti) | a(RT**...80 °C) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maximální provozní teplota) | °C | 1700 | |
Parametr keramické trubice z karbidu křemíku:
| Položky | Index |
| α-SIC | 99% min. |
| Zdánlivá pórovitost | Maximálně 16 % |
| Objemová hustota | 2,7 g/cm3 min. |
| Pevnost v ohybu při vysoké teplotě | 100 MPa min. |
| Součinitel tepelné roztažnosti | K-1 4,7x10 -6 |
| Součinitel tepelné vodivosti (1400 °C) | 24 W/mk |
| Max. pracovní teplota | 1650 °C |
Hlavní aplikace:
1. Keramická deska z karbidu křemíku
- Řezání a leštění destiček: slouží jako nosná platforma pro zajištění vysoké přesnosti a stability během řezání a leštění.
- Litografický proces: Destička je fixována v litografickém stroji, aby byla zajištěna vysoká přesnost polohování během expozice.
- Chemicko-mechanické leštění (CMP): funguje jako podpůrná platforma pro lešticí kotouče a zajišťuje rovnoměrné rozložení tlaku a tepla.
2. Keramická trubice z karbidu křemíku
- Trubka vysokoteplotní pece: používá se pro vysokoteplotní zařízení, jako jsou difuzní pece a oxidační pece, k přepravě destiček pro vysokoteplotní procesní zpracování.
- Proces CVD/PVD: Jako ložisková trubka v reakční komoře, odolná vůči vysokým teplotám a korozivním plynům.
- Příslušenství pro polovodičová zařízení: pro výměníky tepla, plynovody atd., pro zlepšení účinnosti tepelného řízení zařízení.
Společnost XKH nabízí kompletní škálu zakázkových služeb pro keramické misky, přísavky a keramické trubice z karbidu křemíku. Keramické misky a přísavky z karbidu křemíku od společnosti XKH lze přizpůsobit požadavkům zákazníka v různých velikostech, tvarech a drsnosti povrchu a podporují speciální povlakování, zvyšují odolnost proti opotřebení a korozi. U keramických trubic z karbidu křemíku může společnost XKH přizpůsobit různé vnitřní průměry, vnější průměry, délky a složité struktury (například tvarované trubky nebo porézní trubky) a zajistit leštění, antioxidační povlakování a další procesy povrchové úpravy. Společnost XKH zajišťuje, aby zákazníci mohli plně využít výkonnostních výhod keramických výrobků z karbidu křemíku a splnit náročné požadavky špičkových výrobních oborů, jako jsou polovodiče, LED diody a fotovoltaika.
Podrobný diagram
