Silikonový karbid keramický zásobník Sucker Silicon Carbide Keramic Trub

Silikonový karbid keramický zásobník Sucker Silicon Carbide keramická trubice Dodávka Vysoko teploty slinování vlastního zpracování Zpracování Obrázek

Krátký popis:

Keramické trubice křemíkového karbidu a křemíkového karbidu jsou nezbytné vysoce výkonné materiály při výrobě polovodičů. Keramický podnos křemíku se používá hlavně při pevném a ložisku zpracování destičky, aby se zajistila stabilita vysoce přesného procesu; Silikonové karbidové keramické zkumavky se široce používají ve zkumavkách s vysokou teplotou, difúzní pecí a dalších scénářích, aby vydržely extrémní prostředí a udržovaly efektivní tepelné řízení. Oba jsou založeny na karbidu křemíku jako materiálu základního materiálu, který se stal klíčovou součástí v polovodičovém průmyslu díky svým vynikajícím fyzikálním a chemickým vlastnostem.

Pošlete nám e -mail

Detail produktu

Značky produktů

Hlavní rysy:

1. Keramický podnos křemíku karbidu
- Vysoká odolnost proti tvrdosti a opotřebení: Tvrdost je blízko diamantu a po dlouhou dobu vydrží mechanické opotřebení ve zpracování oplatky.
- Vysoká tepelná vodivost a koeficient nízké tepelné roztažnosti: rychlý rozptyl tepla a rozměrová stabilita, zabrání deformaci způsobené tepelným napětím.
- Vysoká plodnost a povrchová úprava: povrchová rovina je až na úroveň mikronu, což zajišťuje úplný kontakt mezi oplatkou a diskem, snižuje kontaminaci a poškození.
Chemická stabilita: Silná odolnost proti korozi, vhodná pro procesy čištění a leptání mokrého čištění ve výrobě polovodičů.
2. Křečová trubice křemíku karbidu
- Odolnost s vysokou teplotou: Může pracovat v prostředí s vysokou teplotou nad 1600 ° C po dlouhou dobu, vhodné pro polovodičový vysokoteplotní proces.
Vynikající odolnost proti korozi: Odolná vůči kyselinám, alkalisům a řadě chemických rozpouštědel, vhodná pro drsná procesní prostředí.
- Vysoká odolnost proti tvrdosti a opotřebení: Odolejte erozi částic a mechanické opotřebení, prodlužují životnost.
- Vysoká tepelná vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti: rychlé vedení stability tepla a rozměru, snížení deformace nebo praskání způsobené tepelným napětím.

Parametr produktu ：

Parametr keramického zásobníku křemíku: Parametr:

(Materiál vlastnost)		(Jednotka)	(SSIC)
(Obsah sic)		(WT)%	> 99
(Průměrná velikost zrn)		mikron	4-10
(Hustota)		KG/DM3	> 3.14
(Zjevná porozita)		VO1%	<0,5
(Vickers tvrdost)	HV 0,5	GPA	28
() Flexurální síla (tři body)	20 ° C.	MPA	450
(Síla tlaku)	20 ° C.	MPA	3900
(Elastický modul)	20 ° C.	GPA	420
(Touhavost zlomenin)		MPA/M '%	3.5
(Tepelná vodivost)	20 ° ° C.	W/(m*k)	160
(Odpor)	20 ° ° C.	Ohm.cm	106-108
(Koeficient tepelné rozšiřování)	A (rt ** ... 80 ° C)	K-1*10-6	4.3
(Maximální provozní teplota)		O´C	1700

Silikonový karbid keramická trubice Parametr:

Položky	Index
a-Sic	99% min
Zjevná porozita	16% max
Hromadná hustota	2,7g/cm3 min
Pevnost ohybu při vysoké teplotě	100 MPA Min
Koeficient tepelné roztažnosti	K -1 4,7x10 -6
Koeficient tepelné vodivosti (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Pracovní teplota	1650 ° C.

Hlavní aplikace:

1. keramická deska křemíku křemíku
- Řezání a leštění oplatky: Slouží jako ložisková platforma k zajištění vysoké přesnosti a stability během řezání a leštění.
- Litografický proces: oplatka je fixována v litografickém stroji, aby se zajistilo vysoké přesné umístění během expozice.
- Chemické mechanické leštění (CMP): Působí jako podpůrná platforma pro leštící podložky, poskytuje jednotný tlak a rozdělení tepla.
2. Křečová trubice křemíku karbidu
- Trubka s vysokou teplotou: Používá se pro zařízení s vysokou teplotou, jako je difúzní pec a oxidační pec k přepravě oplatků pro zpracování s vysokou teplotou.
- Proces CVD/PVD: Jako trubice ložiska v reakční komoře, odolná vůči vysokým teplotám a korozivním plynům.
- Polovodičové vybavení Příslušenství: Pro výměníky tepla, plynových potrubí atd. Pro zlepšení účinnosti tepelného řízení zařízení.
XKH nabízí celou řadu vlastních služeb pro keramické podnosy na křemík karbidu, přísavky a keramické trubice křemíkového karbidu. Keramické zásobníky a přísavy křemíku a přísavy, XKH lze přizpůsobit podle požadavků zákazníků různých velikostí, tvarů a drsnosti povrchu a podporovat zvláštní ošetření povlakování, zvyšuje odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi; U keramických trubek karbidu křemíku může XKH přizpůsobit různé vnitřní průměr, vnější průměr, délku a komplexní strukturu (jako je tvarovaná trubice nebo porézní trubice) a zajistit leštění, antioxidační povlak a další procesy povrchového úpravy. XKH zajišťuje, že zákazníci mohou plně využívat výhody výhod keramických produktů křemíkového karbidu, aby splňovaly náročné požadavky špičkových výrobních polí, jako jsou polovodiče, LED a fotovoltaika.