Konzolová lopatka z karbidu křemíku (konzolová lopatka SiC)

Stručný popis:

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Přehled produktu

Konzolová lopatka z karbidu křemíku, vyrobená z vysoce výkonného reakční vazby karbidu křemíku (RBSiC), je klíčovou součástí používanou v systémech pro nakládání a manipulaci s destičkami pro polovodičové a fotovoltaické aplikace.
Ve srovnání s tradičními křemennými nebo grafitovými lopatkami nabízejí konzolové lopatky SiC vynikající mechanickou pevnost, vysokou tvrdost, nízkou tepelnou roztažnost a vynikající odolnost proti korozi. Zachovávají si vynikající strukturální stabilitu i za vysokých teplot, splňují tak přísné požadavky na velké velikosti destiček, prodlouženou životnost a extrémně nízkou kontaminaci.

S neustálým vývojem polovodičových procesů směrem k větším průměrům destiček, vyšší propustnosti a čistším procesním prostředím postupně nahradily konzolové lopatky SiC konvenční materiály a staly se preferovanou volbou pro difuzní pece, LPCVD a související vysokoteplotní zařízení.

Vlastnosti produktu

Vynikající stabilita při vysokých teplotách
- Spolehlivě pracuje při teplotách 1000–1300 ℃ bez deformace.
- Maximální provozní teplota až 1380 °C.
Vysoká únosnost
- Pevnost v ohybu až 250–280 MPa, mnohem vyšší než u křemenných lopatek.
- Schopný pracovat s destičkami velkého průměru (300 mm a více).
Prodloužená životnost a nízká údržba
- Nízký koeficient tepelné roztažnosti (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dobře sladěný s povlakovými materiály LPCVD.
- Snižuje praskliny a odlupování způsobené namáháním, čímž výrazně prodlužuje cykly čištění a údržby.
Odolnost proti korozi a čistota
- Vynikající odolnost vůči kyselinám a zásadám.
- Hustá mikrostruktura s otevřenou pórovitostí <0,1 %, minimalizující tvorbu částic a uvolňování nečistot.
Návrh kompatibilní s automatizací
- Stabilní geometrie průřezu s vysokou rozměrovou přesností.
- Bezproblémová integrace s robotickými systémy pro vkládání a vykládání waferů umožňuje plně automatizovanou výrobu.

Fyzikální a chemické vlastnosti

Položka	Jednotka	Data
Maximální provozní teplota	℃	1380
Hustota	g/cm³	3,04 – 3,08
Otevřená pórovitost	%	< 0,1
Pevnost v ohybu	MPa	250 (20 °C), 280 (1200 °C)
Modul pružnosti	GPA	330 (20 °C), 300 (1200 °C)
Tepelná vodivost	W/m·K	45 (1200 °C)
Součinitel tepelné roztažnosti	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Tvrdost podle Vickerse	HV2	≥ 2100
Odolnost vůči kyselinám/zásadám	-	Vynikající

Standardní délky:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Vlastní rozměry k dispozici na vyžádání

Aplikace

Polovodičový průmysl
- LPCVD (nízkotlaká chemická depozice z plynné fáze)
- Difuzní procesy (fosfor, bor atd.)
- Tepelná oxidace
Fotovoltaický průmysl
- Difúze a povlakování polykrystalických a monokrystalických destiček
- Žíhání a pasivace za vysokých teplot
Další obory
- Vysokoteplotní korozivní prostředí
- Přesné systémy pro manipulaci s destičkami vyžadující dlouhou životnost a nízkou kontaminaci

Výhody pro zákazníky

Snížené provozní náklady– Delší životnost ve srovnání s křemennými lopatkami, minimalizující prostoje a frekvenci výměn.
Vyšší výnos– Extrémně nízká kontaminace zajišťuje čistotu povrchu destiček a snižuje míru vad.
Budoucnost připravena– Kompatibilní s velkými velikostmi destiček a polovodičovými procesy nové generace.
Zvýšená produktivita– Plně kompatibilní s robotickými automatizačními systémy, což podporuje velkoobjemovou výrobu.

Často kladené otázky – Konzolová lopatka z karbidu křemíku

Q1: Co je to konzolová lopatka z karbidu křemíku?
A: Jedná se o součástku pro podporu a manipulaci s destičkami vyrobenou z reakčně vázaného karbidu křemíku (RBSiC). Široce se používá v difuzních pecích, LPCVD a dalších vysokoteplotních polovodičových a fotovoltaických procesech.

Q2: Proč zvolit SiC místo křemenných lopatek?
A: Ve srovnání s křemennými pádly nabízejí pádla SiC:

Vyšší mechanická pevnost a únosnost
Lepší tepelná stabilita při teplotách až do 1380 ℃
Mnohem delší životnost a méně cyklů údržby
Nižší riziko tvorby částic a kontaminace
Kompatibilita s většími velikostmi destiček (300 mm a více)

Q3: Jaké velikosti destiček může konzolová lopatka SiC podporovat?
A: Standardní lopatky jsou k dispozici pro pece o průměru 2378 mm, 2550 mm a 2660 mm. K dispozici jsou i zakázkové rozměry pro podporu destiček o průměru až 300 mm a více.

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.