Keramický talíř Sic

Keramický tác SiC pro nosič destiček s odolností vůči vysokým teplotám
Keramická miska z karbidu křemíku – odolné, vysoce výkonné misky pro tepelné a chemické aplikace
Keramická destička/podnos z SiC pro držák waferů o průměru 4 a 6 palců pro ICP
Rameno pro manipulaci s koncovým efektorem z SiC keramiky pro přenášení destiček