Oplatka z křemenného skla JGS1 JGS2 BF33 Oplatka 8 palců 12 palců 725 ± 25 um Nebo přizpůsobené
Specifikace
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Průměr | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Tloušťka | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Primární byt | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Zářez | Zářez | Zářez | Zářez |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2 um | < 3 um | <3um | <10um | <10um |
Luk | ±20 um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Warp | ≤ 30 um | ≤ 40 um | ≤ 70 um | ≤ 80 um | ≤ 80 um |
Zaoblení hran | Vyhovuje standardu SEMI M1.2/viz IEC62276 | ||||
Typ povrchu | Jednostranně leštěné / Oboustranně leštěné | ||||
Leštěná strana Ra | Ra < 1 nm | ||||
Kritéria zadní strany | Ra 0,2-0,7um nebo přizpůsobené |
Oplatka z křemenného skla JGS1 JGS2 BF33 Tabulka parametrů oplatky
Aplikace
Křemenné skleněné destičky vyrobené z JGS1, JGS2 a BF33 jsou široce používány v různých vysoce přesných průmyslových odvětvích. Tyto destičky jsou ideální pro výrobu polovodičů, včetně substrátů pro fotomasky a optiky na úrovni destiček. Jsou také vhodné pro optické komponenty, lasery a senzory v průmyslových odvětvích, jako jsou telekomunikace, letecký průmysl a lékařská zařízení. Jejich vysoká tepelná stabilita a odolnost vůči teplotním šokům je činí ideálními pro prostředí s extrémními teplotami, zatímco jejich výjimečná propustnost je rozhodující pro ultrafialovou (UV) a infračervenou (IR) optiku.
Vlastnosti
Typy materiálů:
JGS1: Vysoká propustnost UV záření, vynikající pro aplikace s ultrafialovým světlem.
JGS2: Vyvážená propustnost v UV, viditelném a infračerveném pásmu, vhodná pro obecné optické použití.
BF33: Borosilikátové sklo s vysokou chemickou odolností a tepelnou odolností. Možnosti velikosti:
K dispozici ve standardních velikostech 8palcových a 12palcových waferů.
Vlastní velikosti lze vyrobit na základě specifických požadavků. Tloušťka:
Standardní tloušťka je 725 ± 25 μm.
Přizpůsobitelná tloušťka k dispozici pro splnění různých průmyslových potřeb.
Tepelné vlastnosti:
Vynikající tepelná stabilita, vhodné pro použití v prostředí s vysokou teplotou.
Vysoká odolnost proti teplotním šokům.
Chemická odolnost:
Silná odolnost vůči korozi kyselin, zásad a většiny chemikálií, zejména BF33.
Optické vlastnosti:
Desky JGS1 a JGS2 nabízejí vysokou optickou propustnost v ultrafialovém (UV), viditelném a infračerveném (IR) rozsahu.
Ideální pro přesné optické komponenty, fotoniku a laserové aplikace.
Kvalita povrchu:
Vysoká rovinnost a hladkost povrchu zajišťující přesnost při výrobě polovodičových a optických zařízení.
Díky těmto vlastnostem jsou destičky JGS1, JGS2 a BF33 všestranné a spolehlivé pro vysoce výkonné aplikace napříč průmyslovými odvětvími, jako je optika, elektronika a polovodiče.
Celkově
Desky z křemenného skla vyrobené z JGS1, JGS2 a BF33 nabízejí výjimečný výkon v celé řadě náročných aplikací. Tyto destičky jsou dostupné ve standardních velikostech 8 palců a 12 palců s tloušťkou 725 ± 25 μm a lze je také přizpůsobit tak, aby splňovaly specifické požadavky. JGS1 a JGS2 poskytují vysokou optickou propustnost v UV, viditelném a IR rozsahu, zatímco BF33 nabízí vynikající chemickou odolnost a tepelnou stabilitu. Díky vysoké rovinnosti a hladkosti povrchu jsou tyto wafery ideální pro přesná průmyslová odvětví, jako jsou polovodiče, optika a fotonika, a zajišťují spolehlivost a odolnost v extrémních prostředích a kritických aplikacích.