Křemenná skleněná destička JGS1 JGS2 BF33 Destička 8 palců 12 palců 725 ± 25 um nebo na míru
Specifikace
Specifikace | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Průměr | 100mm | 150mm | 200mm | 250 mm | 300 mm |
Tloušťka | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Primární byt | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Zářez | Zářez | Zářez | Zářez |
Celková hodnota (LTV) (5 mm x 5 mm) | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm |
TTV | < 2 μm | < 3 μm | <3um | <10 μm | <10 μm |
Luk | ±20 μm | ±30 μm | ±40 μm | ±40 μm | ±40 μm |
Warp | ≤ 30 μm | ≤ 40 μm | ≤ 70 μm | ≤ 80 μm | ≤ 80 μm |
Zaoblení hran | V souladu s normou SEMI M1.2/viz IEC62276 | ||||
Typ povrchu | Leštěná jedna strana / Leštěná oboustranně | ||||
Leštěná strana Ra | Ra≤1nm | ||||
Kritéria zadní strany | Ra 0,2-0,7um nebo na míru |
Tabulka parametrů křemenného skleněného destičky JGS1 JGS2 BF33
Aplikace
Křemenné skleněné destičky vyrobené z materiálů JGS1, JGS2 a BF33 se široce používají v různých vysoce přesných průmyslových odvětvích. Tyto destičky jsou ideální pro výrobu polovodičů, včetně substrátů pro fotomasky a optiky na úrovni destiček. Jsou také vhodné pro optické součástky, lasery a senzory v odvětvích, jako jsou telekomunikace, letecký průmysl a lékařské přístroje. Jejich vysoká tepelná stabilita a odolnost vůči tepelným šokům je činí ideálními pro extrémní teplotní prostředí, zatímco jejich výjimečná propustnost je klíčová pro ultrafialové (UV) a infračervené (IR) záření.
Nemovitosti
Typy materiálů:
JGS1: Vysoká propustnost UV záření, vynikající pro aplikace s ultrafialovým světlem.
JGS2: Vyvážená propustnost v UV, viditelném a infračerveném rozsahu, vhodná pro všeobecné optické použití.
BF33: Borosilikátové sklo s vysokou chemickou odolností a tepelnou trvanlivostí. Možnosti velikostí:
K dispozici ve standardních velikostech 8palcových a 12palcových waferů.
Zakázkové velikosti lze vyrobit na základě specifických požadavků. Tloušťka:
Standardní tloušťka je 725 ± 25 μm.
Přizpůsobitelná tloušťka k dispozici pro splnění různých průmyslových potřeb.
Tepelné vlastnosti:
Vynikající tepelná stabilita, vhodná pro použití ve vysokoteplotních prostředích.
Vysoká odolnost vůči tepelným šokům.
Chemická odolnost:
Silná odolnost proti korozi způsobená kyselinami, zásadami a většinou chemikálií, zejména v BF33.
Optické vlastnosti:
Destičky JGS1 a JGS2 nabízejí vysokou optickou propustnost v ultrafialovém (UV), viditelném a infračerveném (IR) rozsahu záření.
Ideální pro přesné optické součástky, fotoniku a laserové aplikace.
Kvalita povrchu:
Vysoká rovinnost a hladkost povrchu zajišťující přesnost při výrobě polovodičů a optických součástek.
Díky těmto vlastnostem jsou destičky JGS1, JGS2 a BF33 všestranné a spolehlivé pro vysoce výkonné aplikace v různých odvětvích, jako je optika, elektronika a polovodiče.
Celkově
Křemenné skleněné destičky vyrobené z materiálů JGS1, JGS2 a BF33 nabízejí výjimečný výkon v celé řadě náročných aplikací. Tyto destičky jsou k dispozici ve standardních velikostech 8 palců a 12 palců s tloušťkou 725 ± 25 μm a lze je také přizpůsobit specifickým požadavkům. JGS1 a JGS2 poskytují vysokou optickou propustnost v UV, viditelném a infračerveném rozsahu, zatímco BF33 nabízí vynikající chemickou odolnost a tepelnou stabilitu. Díky vysoké rovinnosti a hladkosti povrchu jsou tyto destičky ideální pro přesná odvětví, jako jsou polovodičová, optická a fotonická výroba, a zajišťují spolehlivost a odolnost v extrémních prostředích a kritických aplikacích.
Podrobný diagram

