Prémiové safírové zvedací kolíky Monokrystalický Al₂O₃ Zvedací kolík z oplatky
Technické parametry
| Chemické složení | Al₂O₃ |
| Tvrdost | 9Mohs |
| Optická povaha | Jednoosý |
| Index lomu | 1,762–1,770 |
| Dvojlom | 0,008–0,010 |
| Disperze | Nízká, 0,018 |
| Lesk | Sklovitý |
| Pleochroismus | Střední až silný |
| Průměr | 0,4 mm–30 mm |
| Tolerance průměru | 0,004 mm–0,05 mm |
| délka | 2 mm–150 mm |
| tolerance délky | 0,03 mm–0,25 mm |
| Kvalita povrchu | 40/20 |
| Zaoblenost povrchu | RZ0.05 |
| Vlastní tvar | oba konce ploché, jeden konec redukovaný, oba konce redukovaný, sedlové čepy a speciální tvary |
Klíčové vlastnosti
1. Výjimečná tvrdost a odolnost proti opotřebení: S tvrdostí 9 podle Mohsovy stupnice, která je druhá hned po diamantu, vykazují safírové zvedací kolíky vlastnosti opotřebení, které dramaticky překonávají tradiční alternativy z karbidu křemíku, keramiky oxidu hlinitého nebo kovových slitin. Tato extrémní tvrdost se promítá do výrazně snížené tvorby částic a požadavků na údržbu, přičemž životnost je obvykle 3–5krát delší než u konvenčních materiálů ve srovnatelných aplikacích.
2. Vynikající odolnost vůči vysokým teplotám: Safírové zvedací kolíky jsou navrženy tak, aby odolaly trvalému provozu při teplotách přesahujících 1000 °C bez degradace, a zachovávají si rozměrovou stabilitu a mechanickou pevnost i v nejnáročnějších tepelných procesech. Díky tomu jsou obzvláště cenné pro kritické aplikace, jako je chemické nanášení z plynné fáze (CVD), chemické nanášení z plynné fáze na kovy a organické sloučeniny (MOCVD) a systémy žíhání za vysokých teplot, kde může nesoulad tepelné roztažnosti ohrozit výtěžnost procesu.
3. Chemická inertnost: Struktura monokrystalického safíru vykazuje pozoruhodnou odolnost vůči působení kyseliny HF, chemikálií na bázi chloru a dalších agresivních procesních plynů, které se běžně vyskytují při výrobě polovodičů. Tato chemická stabilita zajišťuje konzistentní výkon v plazmovém prostředí a zabraňuje tvorbě povrchových defektů, které by mohly vést ke kontaminaci destičky.
4. Nízká kontaminace částicemi: Tyto zvedací čepy jsou vyrobeny z bezvadných, vysoce čistých safírových krystalů (obvykle >99,99 %) a vykazují minimální uvolňování částic i po delším používání. Jejich neporézní povrchová struktura a leštěné povrchy splňují nejpřísnější požadavky na čisté prostory a přímo přispívají ke zlepšení výtěžnosti procesů při výrobě pokročilých polovodičových uzlů.
Vysoce přesné obrábění: Díky pokročilým technikám diamantového broušení a laserového obrábění lze safírové zvedací kolíky vyrábět s submikronovými tolerancemi a povrchovou úpravou pod 0,05 μm Ra. Pro řešení specifických problémů s manipulací s destičkami v zařízeních nové generace lze navrhnout zakázkové geometrie, včetně zúžených profilů, speciálních konfigurací hrotů a integrovaných zarovnávacích prvků.
Primární aplikace
1. Výroba polovodičů: Safírové zvedací kolíky hrají klíčovou roli v pokročilých systémech zpracování destiček, kde poskytují spolehlivou oporu a přesné polohování během fotolitografie, leptání, depozice a kontrolních procesů. Díky své tepelné a chemické stabilitě jsou obzvláště cenné v nástrojích pro EUV litografii a pokročilých aplikacích balení, kde je zásadní rozměrová stabilita v nanometrovém měřítku.
2. LED epitaxe (MOCVD): V epitaxních růstových systémech z nitridu galia (GaN) a souvisejících polovodičových sloučenin poskytují safírové lift piny stabilní oporu destiček při teplotách často přesahujících 1000 °C. Jejich sladěné charakteristiky tepelné roztažnosti se safírovými substráty minimalizují prohýbání destiček a skluz během epitaxního růstu.
3. Fotovoltaický průmysl: Výroba vysoce účinných solárních článků těží z jedinečných vlastností safíru v procesech vysokoteplotní difúze, spékání a nanášení tenkých vrstev. Odolnost pinů proti opotřebení je obzvláště cenná v prostředí hromadné výroby, kde životnost součástek přímo ovlivňuje výrobní náklady.
4. Přesná optika a zpracování elektroniky: Kromě polovodičových aplikací nacházejí safírové zvedací kolíky uplatnění i při manipulaci s citlivými optickými součástkami, zařízeními MEMS a speciálními substráty, kde je zásadní zpracování bez kontaminace a prevence poškrábání. Díky svým elektrickým izolačním vlastnostem jsou ideální pro aplikace zahrnující elektrostaticky citlivá zařízení.
Služby společnosti XKH pro safírové zvedací čepy
XKH poskytuje komplexní technickou podporu a řešení na míru pro safírové zvedací čepy:
1. Služby vývoje na zakázku
· Podpora pro přizpůsobení rozměrů, geometrických rozměrů a povrchových úprav
· Doporučení pro výběr materiálu a optimalizaci technických parametrů
· Spolupráce na návrhu produktů a simulačním ověřování
2. Možnosti přesné výroby
· Vysoce přesné obrábění s tolerancemi kontrolovanými v rozmezí ±1 μm
· Speciální úpravy včetně zrcadlového leštění a srážení hran
· Volitelná řešení pro úpravu povrchu, jako například protipřilnavé povlaky
3. Systém zajištění kvality
· Přísné zavedení kontroly vstupního materiálu a řízení procesů
· Plnorozměrná optická inspekce a analýza morfologie povrchu
· Poskytování protokolů o zkouškách výkonnosti produktů
4. Služby dodavatelského řetězce
· Rychlé dodání standardních produktů
· Vyhrazená správa zásob pro klíčové zákazníky
5. Technická podpora
· Konzultace v oblasti aplikačních řešení
· Rychlá poprodejní reakce
Zavázali jsme se poskytovat vysoce kvalitní produkty ze safírových zvedacích kolíků a profesionální technické služby, abychom splnili přísné požadavky polovodičového, LED a dalších pokročilých průmyslových odvětví.
