Vzorovaný sapphire substrát PSS 2inch 4inch 6inch ICP Dry Letching lze použít pro LED čipy
Základní charakteristika
1. Charakteristiky materiálu: Materiál substrátu je jediný krystalový safír (al₂o₃), s vysokou tvrdostí, vysokou tepelnou odolností a chemickou stabilitou.
2. povrchová struktura: Povrch je tvořen fotolitografií a leptání do periodických mikro-nano struktur, jako jsou kužely, pyramidy nebo hexagonální pole.
3. Optický výkon: Prostřednictvím konstrukce vzorování povrchu se sníží celkový odraz světla na rozhraní a zlepšuje se účinnost extrakce světla.
4. Tepelný výkon: Sapphire substrát má vynikající tepelnou vodivost, vhodná pro aplikace s vysokým výkonem LED.
5. Specifikace velikosti: Běžné velikosti jsou 2 palce (50,8 mm), 4 palce (100 mm) a 6 palců (150 mm).
Hlavní oblasti aplikace
1. LED výroba:
Vylepšená účinnost extrakce světla: PSS snižuje ztrátu světla prostřednictvím návrhu vzorování, což výrazně zlepšuje jas a světelnou účinnost.
Vylepšená kvalita epitaxiálního růstu: Vzorovaná struktura poskytuje lepší růstovou základnu pro epitaxiální vrstvy GAN a zlepšuje výkon LED.
2. Laserová dioda (LD):
Lasery s vysokým výkonem: Vysoká tepelná vodivost a stabilita PSS jsou vhodná pro vysoce výkonné laserové diody, což zlepšuje výkon rozptylu tepla a spolehlivost.
Nízký prahový proud: Optimalizujte epitaxiální růst, snižte prahový proud laserové diody a zlepšuje účinnost.
3. fotodetektor:
Vysoká citlivost: Vysoký přenos světla a nízká hustota defektů PSS zlepšují citlivost a rychlost odezvy fotodetektoru.
Široká spektrální odezva: Vhodná pro fotoelektrickou detekci v ultrafialovém dopadu až do viditelného rozsahu.
4. Výkonová elektronika:
Vysoký odolnost proti napětí: Vysoká izolace a tepelná stabilita Sapphire jsou vhodné pro zařízení s vysokým napětím.
Efektivní rozptyl tepla: Vysoká tepelná vodivost zlepšuje výkon rozptylu tepla napájecích zařízení a prodlužuje životnost.
5. RF zařízení:
Vysokofrekvenční výkon: Nízká dielektrická ztráta a vysoká tepelná stabilita PS jsou vhodná pro vysokofrekvenční RF zařízení.
Nízký hluk: Vysoká plodnost a nízká hustota defektů snižují hluk zařízení a zlepšují kvalitu signálu.
6. Biosenzory:
Detekce vysoké citlivosti: Vysoký přenos světla a chemická stabilita PSS jsou vhodné pro biosenzory s vysokou citlivostí.
Biokompatibilita: Biokompatibilita Sapphire je vhodná pro lékařské a biologické aplikace.
Vzorovaný safírový substrát (PSS) s epitaxiálním materiálem GAN:
Vzorovaný safírový substrát (PSS) je ideálním substrátem pro epitaxiální růst GAN (gallium nitrid). Lattiční konstanta safíru je blízko GAN, která může snížit neshody mřížky a defekty v epitaxiálním růstu. Mikro-nano struktura povrchu PSS nejen zlepšuje účinnost extrakce světla, ale také zlepšuje kvalitu krystalu epitaxiální vrstvy GAN, čímž se zlepšuje výkon a spolehlivost LED.
Technické parametry
Položka | Vzorovaný safírový substrát (2 ~ 6 palců) | ||
Průměr | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Tloušťka | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Povrchová orientace | C-rovina (0001) off-úsek směrem k ose M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
P-rovina (0001) Off-úsek směrem k ose A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Primární plochá orientace | A-rovina (11-20) ± 1,0 ° | ||
Primární délka plochých | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-rovina | 9-O'Clock | ||
Povrchová úprava předního povrchu | Vzorované | ||
Povrchová úprava zadního povrchu | SSP: Fine-Ground, RA = 0,8-1,2UM; DSP: EPI-lemovaný, RA <0,3nm | ||
Laser Mark | Zadní strana | ||
TTV | ≤8 μm | ≤ 10 μm | ≤ 20 μm |
LUK | ≤ 10 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm |
Warp | ≤ 12 μm | ≤ 20 μm | ≤ 30 μm |
Vyloučení hrany | ≤2 mm | ||
Specifikace vzorů | Struktura tvaru | Dome, kužel, pyramida | |
Výška vzorů | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
Průměr vzoru | 2,75 ~ 2,85 μm | ||
Prostor vzorů | 0,1 ~ 0,3 μm |
XKH se specializuje na poskytování vysoce kvalitních, přizpůsobených vzorovaných safírových substrátů (PSS) s technickou podporou a poprodejními službami, aby zákazníkům pomohla dosáhnout efektivní inovace v oblasti LED, displeje a optoelektroniky.
1. Vysoce kvalitní napájení PSS: vzorované safírové substráty v různých velikostech (2 ", 4", 6 "), aby vyhovovaly potřebám LED, zobrazení a optoelektronických zařízení.
2. Přizpůsobený design: Přizpůsobte si povrchovou nanonickou strukturu (jako je kužel, pyramida nebo hexagonální pole) podle potřeby zákazníka k optimalizaci účinnosti extrakce světla.
3. Technická podpora: Poskytněte návrh aplikací PSS, optimalizace procesů a technickou konzultaci, které zákazníkům pomohou zlepšit výkon produktu.
4. Podpora epitaxiálního růstu: PSS odpovídající GAN epitaxiálnímu materiálu je poskytována, aby se zajistil vysoce kvalitní růst epitaxiální vrstvy.
5. Testování a certifikace: Poskytněte zprávu o inspekci kvality PSS, abyste zajistili, že produkty splňují průmyslové standardy.
Podrobný diagram


