Vzorovaný safírový substrát PSS 2 palce 4 palce 6 palců ICP suché leptání lze použít pro LED čipy
Základní charakteristika
1. Materiálové vlastnosti: Materiálem substrátu je monokrystalický safír (Al₂O₃) s vysokou tvrdostí, vysokou tepelnou odolností a chemickou stabilitou.
2. Povrchová struktura: Povrch je vytvořen fotolitografií a leptáním do periodických mikro-nano struktur, jako jsou kužely, pyramidy nebo hexagonální pole.
3. Optický výkon: Díky designu povrchového vzorování se snižuje celkový odraz světla na rozhraní a zlepšuje se účinnost extrakce světla.
4. Tepelné vlastnosti: Safírový substrát má vynikající tepelnou vodivost, vhodný pro aplikace s vysoce výkonnými LED diodami.
5. Specifikace rozměrů: Běžné rozměry jsou 2 palce (50,8 mm), 4 palce (100 mm) a 6 palců (150 mm).
Hlavní oblasti použití
1. Výroba LED:
Zlepšená účinnost odsávání světla: PSS snižuje ztráty světla díky designu vzorů, čímž výrazně zlepšuje jas a světelnou účinnost LED diod.
Vylepšená kvalita epitaxního růstu: Vzorovaná struktura poskytuje lepší základnu pro růst epitaxních vrstev GaN a zlepšuje výkon LED.
2. Laserová dioda (LD):
Vysoce výkonné lasery: Vysoká tepelná vodivost a stabilita PSS jsou vhodné pro vysoce výkonné laserové diody, což zlepšuje výkon a spolehlivost odvodu tepla.
Nízký prahový proud: Optimalizace epitaxního růstu, snížení prahového proudu laserové diody a zlepšení účinnosti.
3. Fotodetektor:
Vysoká citlivost: Vysoká propustnost světla a nízká hustota defektů PSS zlepšují citlivost a rychlost odezvy fotodetektoru.
Široká spektrální odezva: vhodná pro fotoelektrickou detekci v ultrafialovém až viditelném rozsahu.
4. Výkonová elektronika:
Odolnost vůči vysokému napětí: Vysoká izolace a tepelná stabilita safíru jsou vhodné pro zařízení s vysokým napětím.
Efektivní odvod tepla: Vysoká tepelná vodivost zlepšuje odvod tepla výkonných zařízení a prodlužuje jejich životnost.
5. Rádiová zařízení:
Vysokofrekvenční výkon: Nízké dielektrické ztráty a vysoká tepelná stabilita PSS jsou vhodné pro vysokofrekvenční RF zařízení.
Nízký šum: Vysoká plochost a nízká hustota defektů snižují šum zařízení a zlepšují kvalitu signálu.
6. Biosenzory:
Detekce s vysokou citlivostí: Vysoká propustnost světla a chemická stabilita PSS jsou vhodné pro biosenzory s vysokou citlivostí.
Biokompatibilita: Biokompatibilita safíru je vhodná pro lékařské a biodetekční aplikace.
Vzorovaný safírový substrát (PSS) s epitaxním materiálem GaN:
Vzorovaný safírový substrát (PSS) je ideálním substrátem pro epitaxní růst GaN (nitrid galia). Mřížková konstanta safíru je blízká GaN, což může snížit mřížkové neshody a defekty v epitaxním růstu. Mikro-nano struktura povrchu PSS nejen zlepšuje účinnost extrakce světla, ale také zlepšuje krystalickou kvalitu epitaxní vrstvy GaN, čímž se zlepšuje výkon a spolehlivost LED diody.
Technické parametry
| Položka | Vzorovaný safírový substrát (2~6 palců) | ||
| Průměr | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Tloušťka | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Orientace povrchu | Rovina C (0001) odkloněna od osy M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Rovina C (0001) mimo úhel vůči ose A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primární rovinná orientace | Rovina A (11–20) ± 1,0° | ||
| Primární délka plochého | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-rovina | 9 hodin | ||
| Povrchová úprava předního povrchu | Vzorované | ||
| Povrchová úprava zadní strany | SSP: Jemně broušený, Ra=0,8-1,2 μm; DSP: Epi-leštěný, Ra<0,3 nm | ||
| Laserové značení | Zadní strana | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LUK | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| DEFORMA | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Vyloučení okrajů | ≤2 mm | ||
| Specifikace vzoru | Struktura tvaru | Kupole, kužel, pyramida | |
| Výška vzoru | 1,6~1,8 μm | ||
| Průměr vzoru | 2,75~2,85 μm | ||
| Vzorový prostor | 0,1~0,3μm | ||
Společnost XKH se specializuje na poskytování vysoce kvalitních, zakázkově tvarovaných safírových substrátů (PSS) s technickou podporou a poprodejním servisem, které pomáhají zákazníkům dosáhnout efektivních inovací v oblasti LED, displejů a optoelektroniky.
1. Vysoce kvalitní dodávka PSS: Vzorované safírové substráty v různých velikostech (2", 4", 6") pro splnění potřeb LED, displejů a optoelektronických zařízení.
2. Design na míru: Přizpůsobte povrchovou mikro-nano strukturu (například kužel, pyramida nebo šestiúhelníkové pole) podle potřeb zákazníka pro optimalizaci účinnosti extrakce světla.
3. Technická podpora: Poskytování návrhu aplikací PSS, optimalizace procesů a technických konzultací s cílem pomoci zákazníkům zlepšit výkon produktů.
4. Podpora epitaxního růstu: Pro zajištění vysoce kvalitního růstu epitaxní vrstvy je k dispozici PSS spárovaný s epitaxním materiálem GaN.
5. Testování a certifikace: Poskytněte zprávu o kontrole kvality PSS, abyste zajistili, že produkty splňují průmyslové standardy.
Podrobný diagram
