Kompozitní substráty SiC typu N o průměru 6 palců Vysoce kvalitní monokrystalický a nízkokvalitní substrát
Kompozitní substráty SiC typu N Tabulka společných parametrů
| 项目Položky | 指标Specifikace | 项目Položky | 指标Specifikace |
| 直径Průměr | 150±0,2 mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Drsnost čelní strany (Si-face) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
| 晶型Polytyp | 4H | Odštípnutí, poškrábání, prasklina na hraně (vizuální kontrola) | Žádný |
| 电阻率Odpor | 0,015–0,025 ohmů · cm | 总厚度变化TTV | ≤3 μm |
| Tloušťka přenosové vrstvy | ≥0,4 μm | 翘曲度Warp | ≤35 μm |
| 空洞Prázdnota | ≤5 ks/destička (2 mm > D > 0,5 mm) | 总厚度Tloušťka | 350±25 μm |
Označení „typ N“ označuje typ dopování používaného v materiálech SiC. Ve fyzice polovodičů dopování zahrnuje záměrné zavádění nečistot do polovodiče za účelem změny jeho elektrických vlastností. Dopování typu N zavádí prvky, které poskytují přebytek volných elektronů, což dává materiálu zápornou koncentraci nosičů náboje.
Mezi výhody kompozitních substrátů SiC typu N patří:
1. Vysokoteplotní vlastnosti: SiC má vysokou tepelnou vodivost a může pracovat při vysokých teplotách, díky čemuž je vhodný pro vysoce výkonné a vysokofrekvenční elektronické aplikace.
2. Vysoké průrazné napětí: Materiály SiC mají vysoké průrazné napětí, což jim umožňuje odolávat silným elektrickým polím bez elektrického průrazu.
3. Chemická a environmentální odolnost: SiC je chemicky odolný a odolává drsným podmínkám prostředí, díky čemuž je vhodný pro použití v náročných aplikacích.
4. Snížené ztráty výkonu: Ve srovnání s tradičními materiály na bázi křemíku umožňují substráty SiC efektivnější přeměnu energie a snižují ztráty výkonu v elektronických zařízeních.
5. Široká zakázaná pásma: SiC má širokou zakázaná pásma, což umožňuje vývoj elektronických zařízení, která mohou pracovat při vyšších teplotách a vyšších hustotách výkonu.
Celkově vzato, kompozitní substráty SiC typu N nabízejí významné výhody pro vývoj vysoce výkonných elektronických zařízení, zejména v aplikacích, kde je kritický provoz za vysokých teplot, vysoká hustota výkonu a efektivní přeměna energie.