LiTaO3 destička 2-8 palců 10x10x0,5 mm 1sp 2sp pro 5G/6G komunikaci

Stručný popis:

Destička LiTaO3 (destička z lithiového tantalátu), klíčový materiál v polovodičích a optoelektronice třetí generace, využívá svou vysokou Curieovu teplotu (610 °C), široký rozsah průhlednosti (0,4–5,0 μm), vynikající piezoelektrický koeficient (d33 > 1 500 pC/N) a nízké dielektrické ztráty (tanδ < 2 %) k revoluci v 5G komunikaci, fotonické integraci a kvantových zařízeních. Společnost XKH využívá pokročilé výrobní technologie, jako je fyzikální transport par (PVT) a chemická depozice z par (CVD), a dodává destičky s řezáním X/Y/Z, řezáním 42°Y a periodicky pólovanými (PPLT) rozměry 2–8 palců s drsností povrchu (Ra) <0,5 nm a hustotou mikrotrubiček <0,1 cm⁻². Naše služby zahrnují dopování Fe, chemickou redukci a heterogenní integraci Smart-Cut, které se zaměřují na vysoce výkonné optické filtry, infračervené detektory a kvantové světelné zdroje. Tento materiál vede k průlomům v miniaturizaci, vysokofrekvenčním provozu a tepelné stabilitě, čímž urychluje domácí substituci v kritických technologiích.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Technické parametry

Jméno	LiTaO3 optické kvality	Hladina zvukové tabulky LiTaO3
Axiální	Z-řez +/- 0,2 °	36° řez Y / 42° řez Y / řez X (+ / - 0,2 °)
Průměr	76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm	76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm 0 nebo 150 ± 0,5 mm
Referenční rovina	22 mm +/- 2 mm	22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm
Tloušťka	500 μm +/- 5 mm 1000 μm +/- 5 mm	500 μm +/- 20 mm 350 μm +/- 20 mm
TTV	≤ 10 μm	≤ 10 μm
Curieova teplota	605 °C +/- 0,7 °C (metoda DTA)	605 °C +/-3 °C (metoda DTA)
Kvalita povrchu	Oboustranné leštění	Oboustranné leštění
Zkosené hrany	zaoblení hran	zaoblení hran

Klíčové charakteristiky

1. Elektrický a optický výkon
· Elektrooptický koeficient: r33 dosahuje 30 pm/V (X-cut), což je 1,5× více než LiNbO3, což umožňuje ultraširokopásmovou elektrooptickou modulaci (šířka pásma > 40 GHz).
· Široký spektrální rozsah: Rozsah přenosu 0,4–5,0 μm (tloušťka 8 mm) s ultrafialovou absorpční hranou až 280 nm, ideální pro UV lasery a kvantové tečky.
· Nízký pyroelektrický koeficient: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), což zajišťuje stabilitu ve vysokoteplotních infračervených senzorech.

2. Tepelné a mechanické vlastnosti
· Vysoká tepelná vodivost: 4,6 W/m·K (X-cut), čtyřnásobek oproti křemenu, snáší teplotní cykly -200–500 °C.
· Nízký součinitel tepelné roztažnosti: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000 °C), kompatibilní se silikonovým obalem pro minimalizaci tepelného namáhání.
3. Kontrola vad a přesnost zpracování
· Hustota mikrotrubiček: <0,1 cm⁻² (8palcové destičky), hustota dislokací <500 cm⁻² (ověřeno leptáním KOH).
· Kvalita povrchu: Leštěno CMP na Ra <0,5 nm, splňuje požadavky na rovinnost EUV litografie.

Klíčové aplikace

Doména	Aplikační scénáře	Technické výhody
Optická komunikace	100G/400G DWDM lasery, hybridní moduly křemíkové fotoniky	Široký spektrální přenos a nízké ztráty vlnovodem (α <0,1 dB/cm) destičky LiTaO3 umožňují rozšíření C-pásma.
Komunikace 5G/6G	SAW filtry (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filtry	Destičky s řezem Y 42° dosahují Kt² > 15 %, což vede k nízkému vloženému útlumu (< 1,5 dB) a vysokému poklesu (> 30 dB).
Kvantové technologie	Jednofotonové detektory, parametrické zdroje s down-konverzí	Vysoký nelineární koeficient (χ(2)=40 pm/V) a nízká rychlost počítání ve tmě (<100 počítání/s) zvyšují kvantovou přesnost.
Průmyslové snímání	Vysokoteplotní tlakové senzory, proudové transformátory	Piezoelektrická odezva destičky LiTaO3 (g33 >20 mV/m) a tolerance vysokých teplot (>400 °C) jsou vhodné pro extrémní prostředí.

Služby XKH

1. Výroba zakázkových destiček

· Velikost a řezání: 2–8 palcové destičky s řezy X/Y/Z, řezy 42°Y a zakázkovými úhlovými řezy (tolerance ±0,01°).

· Kontrola dopingu: Doping Fe, Mg Czochralského metodou (rozsah koncentrací 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) pro optimalizaci elektrooptických koeficientů a tepelné stability.

2. Pokročilé procesní technologie

· Periodické polarizování (PPLT): Technologie Smart-Cut pro destičky LTOI, dosahující přesnosti periody domény ±10 nm a kvazi-fázově přizpůsobené (QPM) frekvenční konverze.

· Heterogenní integrace: Kompozitní destičky (POI) z LiTaO3 na bázi křemíku s regulací tloušťky (300–600 nm) a tepelnou vodivostí až 8,78 W/m·K pro vysokofrekvenční SAW filtry.

3. Systémy managementu kvality

· Komplexní testování: Ramanova spektroskopie (ověření polytypů), XRD (krystalinita), AFM (morfologie povrchu) a testování optické uniformity (Δn <5×10⁻⁵).

4. Podpora globálního dodavatelského řetězce

· Výrobní kapacita: Měsíční produkce >5 000 waferů (8 palců: 70 %), s 48hodinovým expresním dodáním.

· Logistická síť: Pokrytí v Evropě, Severní Americe a Asii a Tichomoří prostřednictvím letecké/námořní přepravy s teplotně řízeným balením.