Lešticí stroj s iontovým paprskem pro safír SiC Si

Lešticí stroj iontovým paprskem pro safír SiC Si Obrázek

Stručný popis:

Stroj na tvarování a leštění iontovým paprskem je založen na principuiontové naprašováníUvnitř vysokovakuové komory generuje iontový zdroj plazma, které je urychleno do vysokoenergetického iontového paprsku. Tento paprsek bombarduje povrch optické součástky a odstraňuje materiál v atomárním měřítku, čímž se dosahuje ultrapřesné korekce a konečné úpravy povrchu.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Přehled produktu lešticího stroje s iontovým paprskem

Stroj na tvarování a leštění iontovým svazkem je založen na principu iontového naprašování. Uvnitř vysokovakuové komory generuje iontový zdroj plazma, které je urychleno do vysokoenergetického iontového svazku. Tento svazek bombarduje povrch optické součástky a odstraňuje materiál v atomárním měřítku, čímž se dosahuje ultrapřesné korekce a konečné úpravy povrchu.

Leštění iontovým paprskem, které je bezkontaktním procesem, eliminuje mechanické namáhání a zabraňuje poškození podpovrchu, což je ideální pro výrobu vysoce přesné optiky používané v astronomii, letectví, polovodičích a pokročilých výzkumných aplikacích.

Princip fungování lešticího stroje s iontovým paprskem

Generování iontů
Inertní plyn (např. argon) se zavádí do vakuové komory a ionizuje se elektrickým výbojem za vzniku plazmatu.

Zrychlení a tvorba paprsku
Ionty jsou urychleny na několik stovek nebo tisíc elektronvoltů (eV) a tvarovány do stabilní, zaostřené skvrny paprsku.

Odstraňování materiálu
Iontový paprsek fyzicky rozprašuje atomy z povrchu bez zahájení chemických reakcí.

Detekce chyb a plánování trasy
Odchylky tvaru povrchu se měří interferometrií. Funkce pro odebírání se používají k určení dob prodlevy a generování optimalizovaných drah nástroje.

Korekce uzavřené smyčky
Iterační cykly zpracování a měření pokračují, dokud není dosaženo cílových hodnot přesnosti RMS/PV.

Klíčové vlastnosti lešticího stroje s iontovým paprskem

Univerzální kompatibilita s povrchy– Zpracovává ploché, kulové, asférické a volně tvarované povrchy

Ultra stabilní rychlost odstraňování– Umožňuje korekci čísel v subnanometrových otáčkách

Zpracování bez poškození– Žádné podpovrchové vady ani strukturální změny

Konzistentní výkon– Funguje stejně dobře na materiálech různé tvrdosti

Korekce nízkých/středních frekvencí– Eliminuje chyby bez generování artefaktů ve středních a vysokých frekvencích

Nízké nároky na údržbu– Dlouhý nepřetržitý provoz s minimálními prostoji

Hlavní technické specifikace lešticího stroje s iontovým paprskem

Položka	Specifikace
Metoda zpracování	Iontové naprašování ve vysokém vakuu
Typ zpracování	Bezkontaktní leštění a úprava povrchu
Maximální velikost obrobku	Φ4000 mm
Osy pohybu	3osé / 5osé
Stabilita při odstraňování	≥95 %
Přesnost povrchu	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (typická RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Možnost korekce frekvence	Odstraňuje chyby nízkých a středních frekvencí bez zavádění chyb středních a vysokých frekvencí
Nepřetržitý provoz	3–5 týdnů bez údržby vakua
Náklady na údržbu	Nízký

Zpracovatelské možnosti lešticího stroje s iontovým paprskem

Podporované typy povrchů

Jednoduché: Ploché, kulové, hranolové

Komplex: Symetrická/asymetrická asféra, mimoosá asféra, válcová

Speciální: Ultratenká optika, lamelová optika, polokulová optika, konformní optika, fázové desky, volné povrchy

Podporované materiály

Optické sklo: křemen, mikrokrystalické, K9 atd.

Infračervené materiály: křemík, germanium atd.

Kovy: hliník, nerezová ocel, titanové slitiny atd.

Krystaly: YAG, monokrystalický karbid křemíku atd.

Tvrdé/křehké materiály: karbid křemíku atd.

Kvalita povrchu / Přesnost

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Případové studie zpracování lešticího stroje s iontovým paprskem

Případ 1 – Standardní ploché zrcadlo

Obrobek: plochý křemenný obrobek D630 mm

Výsledek: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

Případ 2 – Zrcadlo reflexní pro rentgenové záření

Obrobek: silikonová ploška 150 × 30 mm

Výsledek: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Sklon 0,13 µrad

Případ 3 – Mimoosé zrcadlo

Obrobek: mimoosé broušené zrcátko D326 mm

Výsledek: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Často kladené otázky křemenných brýlí

Často kladené otázky – Lešticí stroj s iontovým paprskem

Q1: Co je leštění iontovým paprskem?
A1:Leštění iontovým paprskem je bezkontaktní proces, který využívá zaostřený paprsek iontů (například argonových iontů) k odstraňování materiálu z povrchu obrobku. Ionty jsou urychlovány a směrovány k povrchu, což způsobuje odstraňování materiálu na atomární úrovni a výsledkem jsou ultra hladké povrchy. Tento proces eliminuje mechanické namáhání a poškození podpovrchu, což je ideální pro přesné optické součástky.

Q2: Jaké typy povrchů dokáže leštička s iontovým paprskem zpracovat?
A2:Ten/Ta/ToLešticí stroj s iontovým paprskemdokáže zpracovávat různé povrchy, včetně jednoduchých optických součástek, jako jsouplošky, koule a hranoly, stejně jako složité geometrie, jako napříkladasférické, mimoosé asférickéavolné povrchyJe obzvláště účinný na materiály jako optické sklo, infračervená optika, kovy a tvrdé/křehké materiály.

Q3: S jakými materiály může lešticí stroj s iontovým paprskem pracovat?
A3:Ten/Ta/ToLešticí stroj s iontovým paprskemdokáže leštit širokou škálu materiálů, včetně:

Optické skloKřemen, mikrokrystalický, K9 atd.
Infračervené materiályKřemík, germanium atd.
KovyHliník, nerezová ocel, titanová slitina atd.
Krystalové materiályYAG, monokrystalický karbid křemíku atd.
Jiné tvrdé/křehké materiályKarbid křemíku atd.

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.