Vysoce výkonný koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky (vidlicové rameno) pro automatizaci polovodičů a čistých prostor

Stručný popis:

Koncový efektor z oxidu hlinitého, označovaný také jako keramická vidlicová ruka nebo robotická keramická ruka, je vysoce přesná manipulační součástka určená pro automatizované systémy v polovodičovém, fotovoltaickém, panelovém a laboratorním prostředí. Je navržena tak, aby poskytovala výjimečnou tepelnou stabilitu, mechanickou tuhost a chemickou odolnost a umožňovala čistou, spolehlivou a bezpečnou přepravu citlivých materiálů, jako jsou křemíkové destičky, skleněné substráty a elektronické mikrosoučástky.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Úvod k produktu

Jakožto typ robotického koncového efektoru představuje tato keramická součástka konečné rozhraní mezi automatizačním systémem a obrobkem. Hraje klíčovou roli v přesném přesunu, zarovnání, nakládání/vykládání a polohování v čistých prostorách a vakuovém prostředí.

keramické rameno pro pohon polovodičů G13

keramické rameno pro pohon polovodičů G10

keramické rameno pro pohon polovodičů s destičkami G07

Přehled materiálů – keramika z oxidu hlinitého (Al₂O₃)

Keramika z oxidu hlinitého je vysoce stabilní a chemicky inertní technický keramický materiál známý svými vynikajícími mechanickými a elektrickými vlastnostmi. Vysoce čistý (≥ 99,5 %) oxid hlinitý použitý v těchto koncových efektorech zajišťuje:

Vysoká tvrdost (Mohs 9)Hliník, hned po diamantu, poskytuje extrémní odolnost proti opotřebení.
Schopnost odolávat vysokým teplotámZachovává strukturální integritu nad 1600 °C.
Chemická inertnostOdolné vůči kyselinám, zásadám, rozpouštědlům a prostředím plazmového leptání.
Elektrická izolaceS vysokou dielektrickou pevností a nízkými dielektrickými ztrátami.
Nízká tepelná roztažnostZajišťuje rozměrovou stabilitu v prostředí s teplotními cykly.
Nízká tvorba částicNezbytné pro kompatibilitu s čistými prostory (třída 10 až třída 1000).

Díky těmto vlastnostem je keramika z oxidu hlinitého ideální pro kritické operace v průmyslových odvětvích citlivých na kontaminaci.

Funkční aplikace

Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky je široce používán ve vysoce technologických průmyslových procesech, zejména tam, kde tradiční kovové nebo plastové materiály selhávají kvůli tepelné roztažnosti, kontaminaci nebo korozi. Mezi klíčové oblasti použití patří:

Přenos polovodičových destiček
Systémy pro nakládání a vykládání fotolitografických materiálů
Manipulace se skleněným substrátem v OLED a LCD linkách
Přenos krystalických křemíkových destiček při výrobě solárních článků
Automatizovaná optická nebo mikroelektronická kontrola
Přeprava vzorků v analytických nebo biomedicínských laboratořích
Systémy automatizace vakuového prostředí

Jeho schopnost pracovat bez vnášení částic nebo statického náboje ho činí nepostradatelným pro přesné robotické operace v automatizaci čistých prostor.

Designové prvky a přizpůsobení

Každý keramický koncový efektor je navržen tak, aby odpovídal specifickému robotickému rameni nebo systému pro manipulaci s destičkami. Podporujeme kompletní přizpůsobení na základě:

Kompatibilita velikosti destičky2", 4", 6", 8", 12" a více
Geometrie a rozteč drážekVhodné pro uchopení hran, oporu zadní strany nebo vroubkované provedení destiček
Sací otvoryIntegrované vakuové otvory nebo kanály pro bezkontaktní manipulaci
Montážní konfiguraceOtvory, závity, drážky přizpůsobené přírubě koncového nástroje vašeho robota
Povrchová úpravaLeštěná, lapovaná nebo jemně broušená povrchová úprava (k dispozici Ra < 0,2 µm)
Ochrana hranZaoblené rohy nebo zkosení, aby se zabránilo poškození destičky

Pomocí CAD výkresů nebo 3D modelů poskytnutých zákazníky mohou naši inženýři optimalizovat každé rameno vidlice z hlediska hmotnosti, pevnosti a čistoty.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Výhody keramických koncových efektorů

Funkce	Prospěch
Vysoká mechanická tuhost	Zachovává rozměrovou přesnost i při robotickém zatížení
Vynikající tepelný výkon	Spolehlivě funguje ve vysokoteplotním nebo plazmovém prostředí
Nulová kontaminace kovy	Žádné riziko iontové kontaminace při kritickém zpracování polovodičů
Povrch s nízkým třením	Snižuje riziko poškrábání na destičkách nebo skleněných substrátech
Antistatické a nemagnetické	Nepřitahuje prach ani neovlivňuje magneticky citlivé součástky
Dlouhá životnost	Vynikající odolnost proti opotřebení v opakovaných vysokorychlostních automatizačních cyklech
Ultra-Clean kompatibilita	Vhodné pro čisté prostory dle normy ISO 14644 (třída 100 a nižší)

Ve srovnání s plastovými nebo hliníkovými rameny poskytuje aluminová keramika dramaticky vylepšenou chemickou a fyzikální stabilitu s minimálními požadavky na údržbu.

Vlastnictví	Kovové rameno	Plastové rameno	Keramické rameno z oxidu hlinitého
Tvrdost	Mírný	Nízký	Velmi vysoká (Mohsova stupnice 9)
Tepelná stabilita	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Chemická odolnost	Mírný	Chudý	Vynikající
Vhodnost pro čisté prostory	Střední	Nízký	Velmi vysoká
Odolnost proti opotřebení	Střední	Nízký	Vynikající
Dielektrická pevnost	Nízký	Střední	Vysoký
Přesné obrábění na zakázku	Omezený	Mírný	Vysoká (možná ±0,01 mm)

Technické specifikace

Parametr	Hodnota
Materiál	Vysoce čistý oxid hlinitý (≥ 99,5 %)
Provozní teplota	Až 1600 °C
Drsnost povrchu	Ra ≤ 0,2 µm (volitelné)
Kompatibilní velikosti destiček	2" až 12" nebo na zakázku
Tolerance rovinnosti	±0,01 mm (v závislosti na aplikaci)
Podpora vakuového sání	Volitelné, přizpůsobitelné kanály
Možnosti montáže	Průchozí šrouby, příruby, drážkované otvory

Často kladené otázky (FAQ)

Q1: Lze koncový efektor integrovat do stávajících robotických systémů?
A1:Ano. Podporujeme úpravy na základě vašeho robotického rozhraní. Můžete nám zaslat CAD výkres nebo rozměry příruby pro přesné přizpůsobení.

Q2: Budou se keramické paže během používání snadno zlomit?
A2:I když je keramika ze své podstaty křehká, naše konstrukce využívají optimalizovanou geometrii pro minimalizaci koncentrace napětí. Za správných podmínek používání poskytují výrazně delší životnost než kov nebo plast.

Q3: Je možné toto použít v komorách pro ultravysoké vakuum nebo plazmové leptání?
A3:Ano. Keramika z oxidu hlinitého neuvolňuje plyny, je tepelně stabilní a odolná vůči korozi – je tedy ideální pro prostředí s vysokým vakuem, reaktivními plyny nebo plazmatem.

Q4: Jak se tyto součásti čistí nebo udržují?
A4:Lze je čistit deionizovanou vodou, alkoholem nebo čisticími prostředky vhodnými pro čisté prostory. Díky jejich chemické stabilitě a inertnímu povrchu nevyžadují žádnou zvláštní údržbu.

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.