8palcová destička z lithium-niobátu LiNbO3 LN
Podrobné informace
Průměr | 200±0,2 mm |
velká plochost | 57,5 mm, zářez |
Orientace | 128Y-řez, X-řez, Z-řez |
Tloušťka | 0,5±0,025 mm, 1,0±0,025 mm |
Povrch | DSP a SSP |
TTV | < 5 µm |
LUK | ± (20µm ~40µm) |
Warp | <= 20µm ~ 50µm |
Celková hodnota (LTV) (5 mm x 5 mm) | <1,5 μm |
PLTV (<0,5 μm) | ≥98 % (5 mm * 5 mm) s vyloučením 2mm okraje |
Ra | Ra<=5A |
Škrábej a kopej (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Okraj | Seznamte se s SEMI M1.2@s GC800#. běžný typ C |
Specifické specifikace
Průměr: 8 palců (přibližně 200 mm)
Tloušťka: Běžné standardní tloušťky se pohybují od 0,5 mm do 1 mm. Jiné tloušťky lze upravit dle specifických požadavků.
Orientace krystalů: Hlavní běžnou orientací krystalů je orientace krystalů s řezem 128Y, Z a X a v závislosti na konkrétní aplikaci lze dosáhnout i jiné orientace krystalů.
Výhody velikosti: 8palcové oplatky z kapra serrata mají oproti menším oplatkám několik výhod velikosti:
Větší plocha: Ve srovnání s 6palcovými nebo 4palcovými destičkami poskytují 8palcové destičky větší povrchovou plochu a mohou pojmout více zařízení a integrovaných obvodů, což vede ke zvýšení efektivity výroby a výtěžnosti.
Vyšší hustota: Použitím 8palcových waferů lze ve stejné oblasti realizovat více zařízení a komponent, což zvyšuje integraci a hustotu zařízení, což následně zlepšuje výkon zařízení.
Lepší konzistence: Větší destičky mají lepší konzistenci ve výrobním procesu, což pomáhá snižovat variabilitu ve výrobním procesu a zlepšovat spolehlivost a konzistenci produktu.
8palcové destičky L a LN mají stejný průměr jako běžné křemíkové destičky a snadno se spojují. Jedná se o vysoce výkonný materiál „spojených SAW filtrů“, který zvládne vysokofrekvenční pásma.
Podrobný diagram



