4palcový SiC Epi wafer pro MOS nebo SBD

Stručný popis:

SiCC má kompletní linku na výrobu substrátu pro destičky SiC (karbid křemíku), která integruje růst krystalů, zpracování destiček, výrobu destiček, leštění, čištění a testování.V současné době můžeme poskytnout axiální nebo mimoosé poloizolační a polovodivé 4H a 6H SiC destičky o velikostech 5x5mm2, 10x10mm2, 2″, 3″, 4″ a 6″, prolomení potlačení defektů, zpracování krystalových semen a rychlý růst a další Prolomil klíčové technologie, jako je potlačení defektů, zpracování krystalických semen a rychlý růst, a podpořil základní výzkum a vývoj epitaxe karbidu křemíku, zařízení a další související základní výzkum.

Pošlete nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Epitaxe označuje růst vrstvy kvalitnějšího monokrystalického materiálu na povrchu substrátu z karbidu křemíku.Mezi nimi se růst epitaxní vrstvy nitridu galia na poloizolačním substrátu karbidu křemíku nazývá heterogenní epitaxe;růst epitaxní vrstvy karbidu křemíku na povrchu vodivého substrátu karbidu křemíku se nazývá homogenní epitaxe.

Epitaxní je v souladu s požadavky na konstrukci zařízení růstu hlavní funkční vrstvy, do značné míry určuje výkon čipu a zařízení, náklady na 23%.Mezi hlavní metody epitaxe tenkého filmu SiC v této fázi patří: chemická depozice z plynné fáze (CVD), epitaxe molekulárního svazku (MBE), epitaxe v kapalné fázi (LPE) a pulzní laserová depozice a sublimace (PLD).

Epitaxe je velmi kritickým článkem v celém odvětví.Pěstováním epitaxních vrstev GaN na poloizolačních substrátech z karbidu křemíku se vyrábějí epitaxní destičky GaN na bázi karbidu křemíku, které lze dále vyrábět do zařízení GaN RF, jako jsou tranzistory s vysokou pohyblivostí elektronů (HEMT);

Pěstováním epitaxní vrstvy karbidu křemíku na vodivém substrátu, aby se získal epitaxní plátek karbidu křemíku, a v epitaxní vrstvě na výrobu Schottkyho diod, zlato-kyslíkových tranzistorů s polovičním polem, bipolárních tranzistorů s izolovaným hradlem a dalších výkonových zařízení, takže kvalita epitaxní na výkon zařízení je velmi velký dopad na rozvoj průmyslu hraje také velmi zásadní roli.