4palcový 6palcový lithiový niobátový monokrystalový plátek LNOI
Proces přípravy materiálů LNOI je rozdělen především do následujících čtyř kroků
(1) He ionty byly vstřikovány do X-cut materiálu lithium niobátu při určité energii a zavedeny do defektní vrstvy v určité hloubce pod povrchovou vrstvou niobátu lithného;
(2) Iontově implantovaný materiál z niobitanu lithného je spojen s křemíkovým substrátem vrstvou oxidu za účelem vytvoření vazebné struktury;
(3) Spojovací struktura byla žíhána, aby se defekty způsobené implantací iontů He vyvinuly a agregovaly za vzniku trhlin. Nakonec byl niobitan lithný oddělen podél defektní vrstvy za vzniku zbytkových plátků niobitanu lithného a plátků LNOI.
Aplikace a výhody LNOI waferu
1-Lithiumniobátové piezoelektrické filmy (LNOI) mají vysoký piezoelektrický koeficient a dielektrickou konstantu, které mohou přeměnit mechanickou energii na elektrickou energii nebo elektrickou energii na mechanickou energii. Proto je široce používán v oblasti senzorů, jako jsou tlakové senzory, senzory zrychlení, teplotní senzory a tak dále. Kromě toho lze piezoelektrický film z niobátu lithného také použít v akustických zařízeních a vibračních zařízeních, jako je piezoelektrický keramický filtr s piezoelektrickým keramickým měničem.
2-Stabilita lithiového niobátového piezoelektrického filmu je také jednou z jeho výhod. Díky své stabilitě krystalové struktury a chemické inertnosti může piezoelektrický film z niobátu lithného pracovat při vysoké teplotě, vysoké vlhkosti, silné kyselině, silné alkálii a jiném drsném prostředí s dobrou odolností proti korozi a trvanlivostí.
3-lithiumniobátový piezoelektrický film je nový piezoelektrický materiál s vynikajícím výkonem a stabilitou a má široké uplatnění. S nepřetržitým rozvojem vědy a technologie bude lithium-niobátový piezoelektrický film aplikován ve více městech, což přinese více pohodlí a inovací do životů lidí.
Podrobný diagram
