4palcový/6palcový krystalický film lithium-niobátu LNOI destička

4palcový 6palcový monokrystalický film lithium-niobátu LNOI wafer Obrázek

Stručný popis:

Niobát lithný má vynikající elektrooptické, nelineární a piezoelektrické vlastnosti. Díky pokročilé mikro a nano technologii zpracování byla rozsáhle vyvinuta integrovaná fotonická zařízení založená na tenkých vrstvách niobátu lithného (LNOI) na izolantech. V budoucnu vysoce výkonné materiály LNOI podpoří další vývoj mikro-nano optiky, integrované fotoniky a mikrovlnné fotoniky na bázi LNOI. Výroba vysoce výkonných materiálů LNOI bude důležitým krokem v průmyslovém využití optoelektronických zařízení na bázi niobátu lithného.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Proces přípravy materiálů LNOI se dělí hlavně na následující čtyři kroky

(1) Ionty He byly vstřikovány do materiálu niobátu lithného s X-řezem při určité energii a zavedeny do defektní vrstvy v určité hloubce pod povrchovou vrstvou niobátu lithného;

(2) Iontově implantovaný materiál niobátu lithného je spojen s křemíkovým substrátem vrstvou oxidu za vzniku vazebné struktury;

(3) Spojovací struktura byla žíhána, aby se defekty způsobené implantací iontů He vyvinuly a agregovaly za vzniku trhlin. Nakonec byl niobát lithný oddělen podél defektní vrstvy za vzniku zbytkových plátků niobátu lithného a destiček LNOI.

Aplikace a výhody LNOI destičky

1 – Piezoelektrické filmy z niobátu lithia (LNOI) mají vysoký piezoelektrický koeficient a dielektrickou konstantu, což jim umožňuje přeměňovat mechanickou energii na elektrickou energii nebo elektrickou energii na mechanickou energii. Proto se široce používají v oblasti senzorů, jako jsou tlakové senzory, akcelerační senzory, teplotní senzory atd. Kromě toho lze piezoelektrický film z niobátu lithia použít také v akustických zařízeních a vibračních zařízeních, jako je piezoelektrický keramický měnič a komplexní piezoelektrický keramický filtr.

2-Stabilita piezoelektrického filmu z niobátu lithného je také jednou z jeho výhod. Díky stabilitě krystalové struktury a chemické inertnosti může piezoelektrický film z niobátu lithného fungovat za vysokých teplot, vysoké vlhkosti, silných kyselin, silných zásad a dalších drsných prostředí a vyznačuje se dobrou odolností proti korozi a trvanlivostí.

3-Lithium-niobátová piezoelektrická fólie je nový piezoelektrický materiál s vynikajícím výkonem a stabilitou a má široké uplatnění. S neustálým rozvojem vědy a techniky se lithium-niobátová piezoelektrická fólie bude používat ve stále více městech a přinese do života lidí více pohodlí a inovací.