4palcový/6palcový krystalický film lithium-niobátu LNOI destička
Proces přípravy materiálů LNOI se dělí hlavně na následující čtyři kroky
(1) Ionty He byly vstřikovány do materiálu niobátu lithného s X-řezem při určité energii a zavedeny do defektní vrstvy v určité hloubce pod povrchovou vrstvou niobátu lithného;
(2) Iontově implantovaný materiál niobátu lithného je spojen s křemíkovým substrátem vrstvou oxidu za vzniku vazebné struktury;
(3) Spojovací struktura byla žíhána, aby se defekty způsobené implantací iontů He vyvinuly a agregovaly za vzniku trhlin. Nakonec byl niobát lithný oddělen podél defektní vrstvy za vzniku zbytkových plátků niobátu lithného a destiček LNOI.
Aplikace a výhody LNOI destičky
1 – Piezoelektrické filmy z niobátu lithia (LNOI) mají vysoký piezoelektrický koeficient a dielektrickou konstantu, což jim umožňuje přeměňovat mechanickou energii na elektrickou energii nebo elektrickou energii na mechanickou energii. Proto se široce používají v oblasti senzorů, jako jsou tlakové senzory, akcelerační senzory, teplotní senzory atd. Kromě toho lze piezoelektrický film z niobátu lithia použít také v akustických zařízeních a vibračních zařízeních, jako je piezoelektrický keramický měnič a komplexní piezoelektrický keramický filtr.
2-Stabilita piezoelektrického filmu z niobátu lithného je také jednou z jeho výhod. Díky stabilitě krystalové struktury a chemické inertnosti může piezoelektrický film z niobátu lithného fungovat za vysokých teplot, vysoké vlhkosti, silných kyselin, silných zásad a dalších drsných prostředí a vyznačuje se dobrou odolností proti korozi a trvanlivostí.
3-Lithium-niobátová piezoelektrická fólie je nový piezoelektrický materiál s vynikajícím výkonem a stabilitou a má široké uplatnění. S neustálým rozvojem vědy a techniky se lithium-niobátová piezoelektrická fólie bude používat ve stále více městech a přinese do života lidí více pohodlí a inovací.
Podrobný diagram


