4H-N/6H-N SiC Wafer Research production Dummy grade Dia150mm Substrát z karbidu křemíku
Specifikace substrátu z karbidu křemíku (SiC) o průměru 6 palců
Stupeň | Nulový MPD | Výroba | Výzkumný stupeň | Dummy Grade |
Průměr | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Tloušťka | 4H-N | 350 μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 500 μm ± 25 μm | |||
Orientace destičky | Na ose: <0001> ±0,5° pro 4H-SI | |||
Primární byt | {10–10}±5,0° | |||
Primární délka plochého | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Vyloučení hran | 3mm | |||
TTV/Luk/Osnova | ≤15 μm/≤40 μm/≤60 μm | |||
Hustota mikrotrubiček | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Měrný odpor 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω⁻cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Drsnost | Polský Ra ≤1nm CMP Ra ≤0,5nm | |||
#Trhliny způsobené vysoce intenzivním světlem | Žádný | 1 povoleno, ≤ 2 mm | Kumulativní délka ≤10 mm, jednotlivá délka ≤2 mm | |
*Šestihranné destičky s vysokou intenzitou světla | Kumulativní plocha ≤1% | Kumulativní plocha ≤ 2 % | Kumulativní plocha ≤ 5 % | |
*Polytypní oblasti vysoce intenzivním světlem | Žádný | Kumulativní plocha ≤ 2 % | Kumulativní plocha ≤ 5 % | |
*&Škrábance od vysoce intenzivního světla | 3 škrábance na kumulativní délku 1 x průměr destičky | 5 škrábanců na 1 x průměr destičky kumulativní délka | 5 škrábanců na kumulativní délku 1 x průměr destičky | |
Okrajový třísek | Žádný | 3 povoleny, ≤0,5 mm každá | 5 povoleno, ≤1 mm každý | |
Kontaminace světlem vysoké intenzity | Žádný
|
Prodej a zákaznický servis
Nákup materiálů
Oddělení nákupu materiálů je zodpovědné za shromažďování všech surovin potřebných k výrobě vašeho produktu. Vždy je k dispozici úplná sledovatelnost všech produktů a materiálů, včetně chemické a fyzikální analýzy.
Kvalitní
Během a po výrobě nebo obrábění vašich produktů se oddělení kontroly kvality podílí na zajištění toho, aby všechny materiály a tolerance splňovaly nebo překračovaly vaše specifikace.
Servis
Jsme hrdí na to, že máme obchodní inženýry s více než 5 lety zkušeností v polovodičovém průmyslu. Jsou vyškoleni k zodpovězení technických otázek a také k poskytování včasných cenových nabídek dle vašich potřeb.
Jsme vám k dispozici kdykoli, když máte problém, a vyřešíme ho do 10 hodin.
Podrobný diagram

