2 palce, 4 palce, 6 palců, vzorovaný safírový substrát (PSS), na kterém je pěstován materiál GaN, lze použít pro LED osvětlení

Stručný popis:

Vzorovaný safírový substrát (PSS) je maska pro suché leptání na safírovém substrátu. Maska je vyryta vzorem standardním litografickým procesem a poté je safír leptán technologií ICP. Maska je odstraněna a nakonec je na ni nanesen materiál GaN, takže se z podélné epitaxe materiálu GaN stane horizontální epitaxe. Tento proces zahrnuje několik kroků, jako je nanesení fotorezistu, postupná expozice, vyvolání expozičního vzoru, suché leptání ICP a čištění.

Pošlete nám e-mail

Detaily produktu

Štítky produktů

Hlavní vlastnosti

1. Strukturální charakteristiky:
Povrch PSS má uspořádaný kuželový nebo trojúhelníkový kuželový vzor, jehož tvar, velikost a rozložení lze řídit úpravou parametrů leptání.
Tyto grafické struktury pomáhají změnit dráhu šíření světla a snížit celkový odraz světla, čímž se zlepšuje účinnost extrakce světla.

2. Materiálové vlastnosti:
PSS používá jako substrátový materiál vysoce kvalitní safír, který se vyznačuje vysokou tvrdostí, vysokou tepelnou vodivostí, dobrou chemickou stabilitou a optickou průhledností.
Díky těmto vlastnostem PSS odolává náročným podmínkám, jako jsou vysoké teploty a tlaky, a zároveň si zachovává vynikající optický výkon.

3. Optický výkon:
Změnou vícenásobného rozptylu na rozhraní mezi GaN a safírovým substrátem umožňuje PSS fotonům, které jsou kompletně odraženy uvnitř vrstvy GaN, uniknout ze safírového substrátu.
Tato funkce výrazně zlepšuje účinnost extrakce světla LED diodou a zvyšuje její svítivost.

4. Charakteristiky procesu:
Výrobní proces PSS je relativně složitý, zahrnuje několik kroků, jako je litografie a leptání, a vyžaduje vysoce přesné zařízení a řízení procesu.
S neustálým pokrokem technologií a snižováním nákladů se však výrobní proces PSS postupně optimalizuje a vylepšuje.

Hlavní výhoda

1. Zlepšení účinnosti extrakce světla: PSS výrazně zlepšuje účinnost extrakce světla LED změnou dráhy šíření světla a snížením celkového odrazu.

2. Prodloužení životnosti LED: PSS může snížit hustotu dislokací epitaxních materiálů GaN, čímž se snižuje neradiační rekombinace a zpětný svodový proud v aktivní oblasti a prodlužuje se životnost LED.

3. Zlepšení jasu LED: Díky zlepšení účinnosti extrakce světla a prodloužení životnosti LED se výrazně zvýšila intenzita světla LED na PSS.

4. Snížení výrobních nákladů: Přestože je výrobní proces PSS relativně složitý, může výrazně zlepšit světelnou účinnost a životnost LED, čímž do určité míry sníží výrobní náklady a zlepší konkurenceschopnost produktu.

Hlavní oblasti použití

1. LED osvětlení: PSS jako substrátový materiál pro LED čipy může výrazně zlepšit světelnou účinnost a životnost LED.
V oblasti LED osvětlení se PSS široce používá v různých osvětlovacích produktech, jako jsou pouliční lampy, stolní lampy, světla do automobilů a tak dále.

2. Polovodičové součástky: Kromě LED osvětlení lze PSS použít i k výrobě dalších polovodičových součástek, jako jsou světelné detektory, lasery atd. Tato zařízení mají širokou škálu uplatnění v komunikaci, lékařství, vojenství a dalších oblastech.

3. Optoelektronická integrace: Optické vlastnosti a stabilita PSS z něj činí jeden z ideálních materiálů v oblasti optoelektronické integrace. V optoelektronické integraci lze PSS použít k výrobě optických vlnovodů, optických spínačů a dalších komponent pro realizaci přenosu a zpracování optických signálů.

Technické parametry

Položka	Vzorovaný safírový substrát (2~6 palců)
Průměr	50,8 ± 0,1 mm	100,0 ± 0,2 mm	150,0 ± 0,3 mm
Tloušťka	430 ± 25 μm	650 ± 25 μm	1000 ± 25 μm
Orientace povrchu	Rovina C (0001) odkloněna od osy M (10-10) 0,2 ± 0,1°
	Rovina C (0001) mimo úhel vůči ose A (11-20) 0 ± 0,1°
Primární rovinná orientace	Rovina A (11–20) ± 1,0°
Primární délka plochého	16,0 ± 1,0 mm	30,0 ± 1,0 mm	47,5 ± 2,0 mm
R-rovina	9 hodin
Povrchová úprava předního povrchu	Vzorované
Povrchová úprava zadní strany	SSP: Jemně broušený, Ra=0,8-1,2 μm; DSP: Epi-leštěný, Ra<0,3 nm
Laserové značení	Zadní strana
TTV	≤8 μm	≤10 μm	≤20 μm
LUK	≤10 μm	≤15 μm	≤25 μm
DEFORMA	≤12 μm	≤20 μm	≤30 μm
Vyloučení okrajů	≤2 mm
Specifikace vzoru	Struktura tvaru	Kupole, kužel, pyramida
	Výška vzoru	1,6~1,8 μm
	Průměr vzoru	2,75~2,85 μm
	Vzorový prostor	0,1~0,3μm

Společnost XKH se zaměřuje na vývoj, výrobu a prodej vzorovaných safírových substrátů (PSS) a je odhodlána poskytovat vysoce kvalitní a výkonné produkty PSS zákazníkům po celém světě. XKH disponuje pokročilou výrobní technologií a profesionálním technickým týmem, který dokáže přizpůsobit produkty PSS s různými specifikacemi a různými strukturami vzorů podle potřeb zákazníka. Zároveň XKH věnuje pozornost kvalitě produktů a služeb a je odhodlána poskytovat zákazníkům kompletní škálu technické podpory a řešení. V oblasti PSS společnost XKH nashromáždila bohaté zkušenosti a výhody a těší se na spolupráci s globálními partnery s cílem společně podpořit inovativní vývoj LED osvětlení, polovodičových součástek a dalších odvětví.