156 mm 159 mm 6palcový safírový plátek pro nosič C-Plane DSP TTV
Specifikace
Položka | 6palcové safírové destičky C-plane(0001). | |
Krystalové materiály | 99,999 %, vysoká čistota, monokrystalický Al2O3 | |
Stupeň | Prime, Epi-Ready | |
Orientace povrchu | C-plane(0001) | |
Úhel vychýlení roviny C směrem k ose M 0,2 +/- 0,1° | ||
Průměr | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Tloušťka | 650 μm +/- 25 μm | |
Primární orientace bytu | C-rovina (00-01) +/- 0,2° | |
Jednostranně leštěné | Přední povrch | Epi-leštěné, Ra < 0,2 nm (pomocí AFM) |
(SSP) | Zadní povrch | Jemně mletý, Ra = 0,8 μm až 1,2 μm |
Oboustranně leštěné | Přední povrch | Epi-leštěné, Ra < 0,2 nm (pomocí AFM) |
(DSP) | Zadní povrch | Epi-leštěné, Ra < 0,2 nm (pomocí AFM) |
TTV | < 20 μm | |
LUK | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Čištění / Balení | Čištění čistých prostor a vakuové balení třídy 100, | |
25 kusů v kazetovém balení nebo balení po jednom kuse. |
Kylopoulosova metoda (metoda KY) je v současné době používána mnoha společnostmi v Číně k výrobě safírových krystalů pro použití v elektronickém a optickém průmyslu.
V tomto procesu se vysoce čistý oxid hlinitý taví v kelímku při teplotách nad 2100 stupňů Celsia. Obvykle je kelímek vyroben z wolframu nebo molybdenu. Přesně orientovaný zárodečný krystal je ponořen do roztaveného oxidu hlinitého. Zárodečný krystal se pomalu vytahuje nahoru a lze jej současně otáčet. Přesným řízením teplotního gradientu, rychlosti tažení a rychlosti ochlazování lze z taveniny vyrobit velký, jednokrystalický, téměř válcový ingot.
Poté, co jsou monokrystalické safírové ingoty vypěstovány, jsou vyvrtány do válcových tyčí, které jsou následně řezány na požadovanou tloušťku okna a nakonec leštěny na požadovanou povrchovou úpravu.