Keramický upínač z karbidu křemíku pro SiC safírové Si GAA destičky

Keramický upínač z karbidu křemíku pro SiC safírový Si GAA destičku Obrázek

Stručný popis:

Keramický upínač z karbidu křemíku je vysoce výkonná platforma určená pro kontrolu polovodičů, výrobu destiček a lepení. Je vyroben z pokročilých keramických materiálů – včetně slinutého SiC (SSiC), reakčně vázaného SiC (RSiC), nitridu křemíku a nitridu hliníku – a nabízí vysokou tuhost, nízkou tepelnou roztažnost, vynikající odolnost proti opotřebení a dlouhou životnost.

Pošlete nám e-mail

Funkce

Podrobný diagram

Přehled keramického upínače z karbidu křemíku (SiC)

Ten/Ta/ToKeramické sklíčidlo z karbidu křemíkuje vysoce výkonná platforma navržená pro kontrolu polovodičů, výrobu destiček a spojování. Vyrobena z pokročilých keramických materiálů – včetněslinutý SiC (SSiC), reakční vazbou vázaného SiC (RSiC), nitrid křemíkuanitrid hliníku— nabízívysoká tuhost, nízká tepelná roztažnost, vynikající odolnost proti opotřebení a dlouhá životnost.

Díky přesnému inženýrství a nejmodernějšímu leštění poskytuje sklíčidlosubmikronová rovinnost, povrchy zrcadlové kvality a dlouhodobá rozměrová stabilita, což z něj činí ideální řešení pro kritické polovodičové procesy.

Klíčové výhody

Vysoká přesnost
Rovinnost kontrolovaná uvnitř0,3–0,5 μm, což zajišťuje stabilitu destiček a konzistentní přesnost procesu.
Leštění zrcadel
DosahujeRa 0,02 μmdrsnost povrchu, minimalizace škrábanců a kontaminace destiček – ideální pro ultračistá prostředí.
Ultralehký
Pevnější a zároveň lehčí než křemenné nebo kovové substráty, což zlepšuje ovládání pohybu, odezvu a přesnost polohování.
Vysoká tuhost
Výjimečný Youngův modul pružnosti zajišťuje rozměrovou stabilitu při vysokém zatížení a vysokorychlostním provozu.
Nízká tepelná roztažnost
Součinitel tepelného roztažnosti (CTE) se velmi podobá křemíkovým destičkám, což snižuje tepelné namáhání a zvyšuje spolehlivost procesu.
Vynikající odolnost proti opotřebení
Extrémní tvrdost zachovává rovinnost a přesnost i při dlouhodobém používání s vysokou frekvencí.

Výrobní proces

Příprava surovin
Vysoce čisté prášky SiC s kontrolovanou velikostí částic a ultranízkým obsahem nečistot.
Tváření a spékání
Techniky jako napříkladbeztlakové slinování (SSiC) or reakční vazba (RSiC)vytvářejí husté, jednotné keramické substráty.
Přesné obrábění
CNC broušení, laserové ořezávání a ultrapřesné obrábění dosahují tolerance ±0,01 mm a rovnoběžnosti ≤3 μm.
Povrchová úprava
Vícestupňové broušení a leštění na Ra 0,02 μm; k dispozici jsou volitelné povlaky pro odolnost proti korozi nebo pro zakázkové třecí vlastnosti.
Inspekce a kontrola kvality
Interferometry a měřiče drsnosti ověřují shodu se specifikacemi polovodičové kvality.

Technické specifikace

Parametr	Hodnota	Jednotka
Plochost	≤0,5	μm
Velikosti oplatek	6'', 8'', 12'' (k dispozici na zakázku)	—
Typ povrchu	Typ kolíku / Typ kroužku	—
Výška čepu	0,05–0,2	mm
Minimální průměr čepu	ϕ0,2	mm
Minimální rozteč kolíků	3	mm
Minimální šířka těsnicího kroužku	0,7	mm
Drsnost povrchu	Referenční hodnota ΔR 0,02	μm
Tolerance tloušťky	±0,01	mm
Tolerance průměru	±0,01	mm
Tolerance rovnoběžnosti	≤3	μm

Hlavní aplikace

Zařízení pro kontrolu polovodičových destiček
Systémy pro výrobu a přenos destiček
Nástroje pro lepení a balení destiček
Výroba pokročilých optoelektronických součástek
Přesné přístroje vyžadující ultra ploché a ultra čisté povrchy

Otázky a odpovědi – Keramický upínač z karbidu křemíku

Q1: Jak si keramické upínače SiC liší od křemenných nebo kovových upínačů?
A1: Sklíčidla SiC jsou lehčí, tužší a mají součinitel tepelné roztažnosti blízký křemíkovým destičkám, což minimalizuje tepelnou deformaci. Nabízejí také vynikající odolnost proti opotřebení a delší životnost.

Q2: Jaké rovinnosti lze dosáhnout?
A2: Řízeno uvnitř0,3–0,5 μm, splňující přísné požadavky na výrobu polovodičů.

Q3: Poškrábe povrch waferů?
A3: Ne – zrcadlově leštěnéRa 0,02 μm, což zajišťuje manipulaci bez poškrábání a sníženou tvorbu částic.

Q4: Jaké velikosti waferů jsou podporovány?
A4: Standardní velikosti6'', 8'' a 12'', s možností přizpůsobení.

Q5: Jaký je tepelný odpor?
A5: SiC keramika poskytuje vynikající výkon při vysokých teplotách s minimální deformací při tepelných cyklech.

O nás

Společnost XKH se specializuje na high-tech vývoj, výrobu a prodej speciálního optického skla a nových krystalových materiálů. Naše produkty slouží optické elektronice, spotřební elektronice a armádě. Nabízíme safírové optické komponenty, kryty čoček mobilních telefonů, keramiku, LT, karbid křemíku SIC, křemen a polovodičové krystalové destičky. Díky odborným znalostem a nejmodernějšímu vybavení vynikáme ve zpracování nestandardních produktů s cílem stát se předním technologicky vyspělým podnikem v oblasti optoelektronických materiálů.