S neustálým rozvojem polovodičové technologie v polovodičovém průmyslu a dokonce i ve fotovoltaickém průmyslu jsou požadavky na kvalitu povrchu substrátu destičky nebo epitaxní fólie také velmi přísné. Jaké jsou tedy požadavky na kvalitu destiček?safírová destičkaNapříklad, jaké ukazatele lze použít k vyhodnocení kvality povrchu destiček?
Jaké jsou ukazatele hodnocení destiček?
Tři ukazatele
U safírových destiček jsou ukazateli hodnocení celková odchylka tloušťky (TTV), ohyb (Bow) a deformace (Warp). Tyto tři parametry společně odrážejí rovinnost a rovnoměrnost tloušťky křemíkové destičky a mohou měřit stupeň zvlnění destičky. Vlnění lze kombinovat s rovinností pro vyhodnocení kvality povrchu destičky.
Co je TTV, BOW, Warp?
TTV (celková variace tloušťky)
TTV je rozdíl mezi maximální a minimální tloušťkou destičky. Tento parametr je důležitým ukazatelem používaným k měření rovnoměrnosti tloušťky destičky. V polovodičovém procesu musí být tloušťka destičky velmi rovnoměrná po celém povrchu. Měření se obvykle provádějí na pěti místech destičky a vypočítá se rozdíl. Tato hodnota je v konečném důsledku důležitým základem pro posouzení kvality destičky.
Luk
Prohnutí (bow) ve výrobě polovodičů označuje ohyb křemíkového plátku, kterým se uvolní vzdálenost mezi středem nesevřeného plátku a referenční rovinou. Slovo pravděpodobně pochází z popisu tvaru ohnutého objektu, například zakřiveného tvaru oblouku. Hodnota prohnutí (bow) je definována měřením odchylky mezi středem a okrajem křemíkového plátku. Tato hodnota se obvykle vyjadřuje v mikrometrech (µm).
Warp
Deformace je globální vlastnost křemíkových destiček, která měří rozdíl mezi maximální a minimální vzdáleností mezi středem volně nesevřené destičky a referenční rovinou. Představuje vzdálenost od povrchu křemíkové destičky k rovině.
Jaký je rozdíl mezi TTV, Bow a Warp?
TTV se zaměřuje na změny tloušťky a nezabývá se ohýbáním nebo deformací destičky.
Luk se zaměřuje na celkový ohyb, zejména s ohledem na ohyb středu a hrany.
Osnova je komplexnější a zahrnuje ohýbání a kroucení celého povrchu destičky.
Ačkoli tyto tři parametry souvisí s tvarem a geometrickými vlastnostmi křemíkového destičkového materiálu, měří se a popisují odlišně a jejich vliv na proces výroby polovodičů a zpracování destiček je také odlišný.
Čím menší jsou tyto tři parametry, tím lépe, a čím větší je parametr, tím větší je negativní dopad na proces výroby polovodičů. Proto si jako praktik v oblasti polovodičů musíme uvědomit důležitost parametrů profilu destičky pro celý proces výroby polovodičů a při výrobě polovodičů musíme věnovat pozornost detailům.
(cenzura)
Čas zveřejnění: 24. června 2024